[實用新型]一種石英管真空封管裝置

有效

• 申請號: 202023229069.1
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN214032224U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 章于道;徐嶺;成偉;葛芳萍
• 申請（專利權）人: 江陰市賽貝克半導體科技有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;C03B23/057
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 吳芳

本實用新型公開了一種石英管真空封管裝置，包括石英管在線旋轉真空抽取系統、石英管支撐平臺和火焰槍固定支架，石英管在線旋轉真空抽取系統包括機體外殼、真空泵和調速電機，機體外殼上設有一個或多個石英管真空接頭，石英管的開口端接在石英管真空接頭上，真空泵用于給石英管抽真空，調速電機用于驅動石英管以其軸線為中心進行旋轉；石英管支撐平臺與石英管在線旋轉真空抽取系統相對設置，石英管支撐平臺上設有一個或多個石英管固定座，石英管固定座與石英管支撐平臺樞軸連接；火焰槍固定支架設有一個或多個火焰槍固定卡槽。本實用新型提供的石英管真空封管裝置能夠同時對多根石英管進行封管，使得石英管封管的效率得到提升。

技術領域

本實用新型涉及半導體材料制造技術領域，尤其涉及一種石英管真空封管裝置。

背景技術

石英管真空封口設備能夠用于實現熱電材料的真空密封保存，廣泛應用于高校和研究所的實驗室等場所。目前的石英管真空封口設備一般包括立式封口機和臥式封口機，立式和臥式是根據石英管的放置狀態命名的，封口機一般包括支座，支座上設置有石英管在線旋轉真空抽取系統，石英管在線旋轉真空抽取系統具有供待封口的石英管安裝的真空接頭，石英管真空封口設備還包括氫氧火焰槍。在現有技術中，目前對無法對多根石英管同時進行封管操作，且操作復雜，使得工作效率低。

實用新型內容

為了解決現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種石英管真空封管裝置，所述技術方案如下：

本實用新型提供一種石英管真空封管裝置，用于給石英管真空封口，包括石英管在線旋轉真空抽取系統、石英管支撐平臺和火焰槍固定支架，所述石英管在線旋轉真空抽取系統包括機體外殼、真空泵和調速電機，所述機體外殼上設有一個或多個石英管真空接頭，所述石英管的開口端接在所述石英管真空接頭上，所述真空泵用于給所述石英管抽真空，所述調速電機用于驅動所述石英管以其軸線為中心進行旋轉；所述石英管支撐平臺與所述石英管在線旋轉真空抽取系統相對設置，所述石英管支撐平臺上設有一個或多個石英管固定座，所述石英管固定座與所述石英管支撐平臺樞軸連接；所述火焰槍固定支架設有一個或多個火焰槍固定卡槽。

進一步地，所述石英管固定座與所述石英管真空接頭一一對應，所述石英管的一端豎直固定在所述石英管固定座上，另一端豎直固定在所述石英管真空接頭上。

進一步地，所述石英管真空封管裝置還包括基座，所述機體外殼通過支桿固定在所述基座上方，所述石英管支撐平臺放置在所述基座和所述機體外殼之間。

進一步地，所述真空泵設置在所述機體外殼外部，并通過波紋管與所述機體外殼上設置的真空擋板閥相連。

進一步地，所述調速電機設置在所述機體外殼內部，所述調速電機通過同步帶輪驅動所述石英管旋轉。

進一步地，所述調速電機驅動所述石英管以1-20r/min的轉速進行旋轉。

進一步地，所述機體外殼上還設有一個或多個直通閥，所述直通閥的一端與所述石英管真空接頭對應相連，其另一端通過磁流體部件與所述真空擋板閥相連，所述直通閥能夠相對于所述真空擋板閥轉動，所述磁流體部件通過所述同步帶輪的傳動發生轉動。

進一步地，所述火焰槍固定支架包括豎桿和橫桿，所述豎桿豎直固定在所述基座上，所述橫桿通過調節裝置固定在所述豎桿上，所述調節裝置用于調節所述橫桿相對所述豎桿上下左右移動以及調節所述橫桿所在的方位。

進一步地，所述石英管支撐平臺為升降式平臺。

進一步地，所述石英管固定座通過滾珠式軸承與所述石英管支撐平臺樞軸連接。

本實用新型提供的技術方案帶來的有益效果如下：

a.能夠同時對多根石英管進行封管；

b.結構簡單，操作便捷；

c.石英管封管的效率得到提升。