[實用新型]一種石英管真空封管裝置

有效

• 申請號: 202023229069.1
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN214032224U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 章于道;徐嶺;成偉;葛芳萍
• 申請（專利權）人: 江陰市賽貝克半導體科技有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;C03B23/057
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 吳芳

1.一種石英管真空封管裝置，用于給石英管(5)真空封口，其特征在于，包括

石英管在線旋轉真空抽取系統，所述石英管在線旋轉真空抽取系統包括機體外殼(100)、真空泵(112)和調速電機，所述機體外殼(100)上設有一個或多個石英管真空接頭(111)，所述石英管(5)的開口端接在所述石英管真空接頭(111)上，所述真空泵(112)用于給所述石英管(5)抽真空，所述調速電機用于驅動所述石英管(5)以其軸線為中心進行旋轉；

石英管支撐平臺(2)，所述石英管支撐平臺(2)與所述石英管在線旋轉真空抽取系統相對設置，所述石英管支撐平臺(2)上設有一個或多個石英管固定座(201)，所述石英管固定座(201)與所述石英管支撐平臺(2)樞軸連接；

火焰槍固定支架(3)，所述火焰槍固定支架(3)設有一個或多個火焰槍固定卡槽(303)。

2.根據權利要求1所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述石英管固定座(201)與所述石英管真空接頭(111)一一對應，所述石英管(5)的一端豎直固定在所述石英管固定座(201)上，另一端豎直固定在所述石英管真空接頭(111)上。

3.根據權利要求1所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，還包括基座(4)，所述機體外殼(100)通過支桿(6)固定在所述基座(4)上方，所述石英管支撐平臺(2)放置在所述基座(4)和所述機體外殼(100)之間。

4.根據權利要求1所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述真空泵(112)設置在所述機體外殼(100)外部，并通過波紋管(109)與所述機體外殼(100)上設置的真空擋板閥(106)相連。

5.根據權利要求4所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述調速電機設置在所述機體外殼(100)內部，所述調速電機通過同步帶輪驅動所述石英管(5)旋轉。

6.根據權利要求5所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述調速電機驅動所述石英管(5)以1-20r/min的轉速進行旋轉。

7.根據權利要求5所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述機體外殼(100)上還設有一個或多個直通閥(110)，所述直通閥(110)的一端與所述石英管真空接頭(111)對應相連，其另一端通過磁流體部件與所述真空擋板閥(106)相連，所述直通閥(110)能夠相對于所述真空擋板閥(106)轉動，所述磁流體部件通過所述同步帶輪的傳動發生轉動。

8.根據權利要求3所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述火焰槍固定支架(3)包括豎桿(304)和橫桿(305)，所述豎桿(304)豎直固定在所述基座(4)上，所述橫桿(305)通過調節裝置固定在所述豎桿(304)上，所述調節裝置用于調節所述橫桿(305)相對所述豎桿(304)上下左右移動以及調節所述橫桿(305)所在的方位。

9.根據權利要求1所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述石英管支撐平臺(2)為升降式平臺。

10.根據權利要求9所述的石英管真空封管裝置，其特征在于，所述石英管固定座(201)通過滾珠式軸承(202)與所述石英管支撐平臺(2)樞軸連接。