[實用新型]一種定位機構及其組成的曝光裝置

有效

• 申請號: 202023218632.5
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN214278638U
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 吳高乾;尹華景;吳康
• 申請（專利權）人: 赤壁市萬皇智能設備有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 姜展志

1.一種定位機構，其特征在于，包括依次上下間隔分布且均水平設置的載板(11)、安裝板(12)、底板(13)、第一驅動件(14)、第二驅動件(15)和第三驅動件(16)，所述載板(11)和底板(13)通過多根豎直設置的滑桿(17)連接固定，所述安裝板(12)與多根所述滑桿(17)滑動連接，所述載板(11)上分別設有多個相互平行并間隔分布的第一條形孔(111)和多個相互平行并間隔分布的第二條形孔(112)，且多個所述第一條形孔(111)和多個所述第二條形孔(112)的中部垂直相交，所述載板(11)上端位于多根所述第一條形孔(111)和多根所述第二條形孔(112)的相交處用以放置方形玻璃板(5)，所述安裝板(12)上滑動設有兩個第一滑塊(121)和兩個第二滑塊(122)，兩個所述第一滑塊(121)分別位于多個所述第一條形孔(111)兩端的下方，兩個所述第二滑塊(122)分別位于多個所述第二條形孔(112)兩端的下方，且每個所述第一滑塊(121)上設有多根豎直設置且與多個所述第一條形孔(111)一一對應的第一靠規桿(1211)，每個所述第一靠規桿(1211)與對應所述第一條形孔(111)對齊，每個所述第二滑塊(122)上設有多根豎直設置且與多個所述第二條形孔(112)一一對應的第二靠規桿(1221)，每個所述第二靠規桿(1221)與對應所述第二條形孔(112)對齊，所述第二驅動件(15)和第三驅動件(16)均具有兩個驅動端，所述第二驅動件(15)和第三驅動件(16)均安裝在所述安裝板(12)上，所述第二驅動件(15)的兩個驅動端分別與兩個所述第一滑塊(121)傳動連接，所述第三驅動件(16)的兩個驅動端分別與兩個所述第二滑塊(122)傳動連接；所述底板(13)上安裝有第一驅動件(14)，所述第一驅動件(14)的驅動端與所述安裝板(12)傳動連接，所述第一驅動件(14)用以驅動所述安裝板(12)沿多根所述滑桿(17)向上滑動，并帶動多根所述第一靠規桿(1211)和第二靠規桿(1221)經對應的所述第一條形孔(111)和第二條形孔(112)伸出至所述載板(11)上方，或向下滑動以帶動多根所述第一靠規桿(1211)和第二靠規桿(1221)經對應的所述第一條形孔(111)和第二條形孔(112)縮回至所述載板(11)下方；且在多根所述第一靠規桿(1211)和第二靠規桿(1221)伸出至所述載板(11)上方時，所述第二驅動件(15)和第三驅動件(16)分別用以驅動兩個所述第一滑塊(121)和兩個所述第二滑塊(122)滑動至相互靠近以由多根所述第一靠規桿(1211)和第二靠規桿(1221)將所述方形玻璃板(5)夾緊在所述載板(11)上以進行定位，或滑動至相互遠離以將所述方形玻璃板(5)松開。

2.根據權利要求1所述的定位機構，其特征在于，所述第二驅動件(15)和第三驅動件(16)均為雙作用滑臺氣缸。

3.根據權利要求1所述的定位機構，其特征在于，所述第一驅動件(14)為伸縮電缸。

4.根據權利要求1所述的定位機構，其特征在于，所述第一條形孔(111)和第二條形孔(112)均設有兩條。

5.一種曝光裝置，其特征在于，包括平移機構(2)、曝光機構(3)、升降機構(4)和如權利要求1-4任一項所述的定位機構(1)，所述平移機構(2)沿前后方向水平設置，所述定位機構(1)安裝在所述平移機構(2)的驅動端上，所述曝光機構(3)通過設置在所述平移機構(2)中部的上方，其曝光部朝下，所述平移機構(2)用以驅動所述定位機構(1)由前向后移動并經過所述曝光機構(3)的下方進行曝光，所述升降機構(4)用以驅動所述曝光機構(3)向下移動至其下端與經過其下方的所述定位機構(1)上端貼合以對所述方形玻璃板(5)進行曝光，或向上移動至復位。

6.根據權利要求5所述的曝光裝置，其特征在于，所述平移機構(2)包括滑座(21)、滑塊(22)和第四驅動件(23)，所述滑座(21)為直條形并沿前后方形水平設置，所述滑塊(22)滑動安裝在所述滑座(21)的上端，所述第四驅動件(23)安裝在所述滑座(21)上，且其驅動端與所述滑塊(22)傳動連接，其用以驅動所述滑塊(22)在所述滑座(21)上端沿前后方向滑動，所述滑塊(22)構成所述平移機構(2)的驅動端。

7.根據權利要求6所述的曝光裝置，其特征在于，所述第四驅動件(23)為直線模組或絲桿驅動機構。