[實用新型]一種定位機構及其組成的曝光裝置

有效

• 申請號: 202023218632.5
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN214278638U
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 吳高乾;尹華景;吳康
• 申請（專利權）人: 赤壁市萬皇智能設備有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 姜展志

本實用新型公開了一種定位機構及其組成的曝光裝置，定位裝置包括依次上下間隔分布且均水平設置的載板、安裝板、底板、第一驅動件、第二驅動件和第三驅動件，載板和底板通過多根豎直設置的滑桿連接固定，安裝板與多根滑桿滑動連接，載板上分別設有多個相互平行并間隔分布的第一條形孔和多個相互平行并間隔分布的第二條形孔，安裝板上滑動設有兩個第一滑塊和兩個第二滑塊，且每個第一滑塊上設有多根豎直設置且與多個第一條形孔一一對應的第一靠規桿，每個第二滑塊上設有多根豎直設置且與多個第二條形孔一一對應的第二靠規桿。其結構簡單，且控制難度小。

技術領域

本實用新型屬于曝光設備領域，尤其涉及一種定位機構及其組成的曝光裝置。

背景技術

目前在曝光設備領域所采用的定位設備通常是基于CCD視覺對位平臺來實現，但其結構復雜，且控制難度大，成本高。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型的目的在于提供一種結構簡單且定位方便的機械式的定位機構。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：一種定位機構，包括依次上下間隔分布且均水平設置的載板、安裝板、底板、第一驅動件、第二驅動件和第三驅動件，所述載板和底板通過多根豎直設置的滑桿連接固定，所述安裝板與多根所述滑桿滑動連接，所述載板上分別設有多個相互平行并間隔分布的第一條形孔和多個相互平行并間隔分布的第二條形孔，且多個所述第一條形孔和多個所述第二條形孔的中部垂直相交，所述載板上端位于多根所述第一條形孔和多根所述第二條形孔的相交處用以放置方形玻璃板，所述安裝板上滑動設有兩個第一滑塊和兩個第二滑塊，兩個所述第一滑塊分別位于多個所述第一條形孔兩端的下方，兩個所述第二滑塊分別位于多個所述第二條形孔兩端的下方，且每個所述第一滑塊上設有多根豎直設置且與多個所述第一條形孔一一對應的第一靠規桿，每個所述第一靠規桿與對應所述第一條形孔對齊，每個所述第二滑塊上設有多根豎直設置且與多個所述第二條形孔一一對應的第二靠規桿，每個所述第二靠規桿與對應所述第二條形孔對齊，所述第二驅動件和第三驅動件均具有兩個驅動端，所述第二驅動件和第三驅動件均安裝在所述安裝板上，所述第二驅動件的兩個驅動端分別與兩個所述第一滑塊傳動連接，所述第三驅動件的兩個驅動端分別與兩個所述第二滑塊傳動連接；所述底板上安裝有第一驅動件，所述第一驅動件的驅動端與所述安裝板傳動連接，所述第一驅動件用以驅動所述安裝板沿多根所述滑桿向上滑動，并帶動多根所述第一靠規桿和第二靠規桿經對應的所述第一條形孔和第二條形孔伸出至所述載板上方，或向下滑動以帶動多根所述第一靠規桿和第二靠規桿經對應的所述第一條形孔和第二條形孔縮回至所述載板下方；且在多根所述第一靠規桿和第二靠規桿伸出至所述載板上方時，所述第二驅動件和第三驅動件分別用以驅動兩個所述第一滑塊和兩個所述第二滑塊滑動至相互靠近以由多根所述第一靠規桿和第二靠規桿將所述方形玻璃板夾緊在所述載板上以進行定位，或滑動至相互遠離以將所述方形玻璃板松開。

上述技術方案的有益效果在于：如此使得在安裝板向上滑動至多個第一靠規桿和多個第二靠規桿均向上伸出至突出于所述載板上方時，第二驅動件和第三驅動件驅動兩個第一滑塊和兩個第二滑塊帶動多個第一靠規桿和多個第二靠規桿從方形玻璃板的四側移動將其夾緊在載板上端，并實現對方形玻璃板的定位，同時在定位完成后，第二驅動件和第三驅動件驅動兩個第一滑塊和兩個第二滑塊帶動多個第一靠規桿和多個第二靠規桿從方形玻璃板的四側移動至相互遠離以將方形玻璃板松開，同時第一驅動件驅動安裝板向下移動此時多個第一靠規桿和多個第二靠規桿向下移動至載板的下方，如此可實現在對方形玻璃板定位后載板上端只剩方形玻璃板，如此便于加工。

上述技術方案中所述第二驅動件和第三驅動件均為雙作用滑臺氣缸。

上述技術方案的有益效果在于：其結構簡單，且其兩個驅動端可同步伸長或收縮，如此使得其定位精度高。

上述技術方案中所述第一驅動件為伸縮電缸。

上述技術方案的有益效果在于：其結構簡單，安裝方便。

上述技術方案中所述第一條形孔和第二條形孔均設有兩條。