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[實用新型]傳感器和電子產品有效

專利信息
申請號: 202023206856.4 申請日: 2020-12-25
公開(公告)號: CN213847004U 公開(公告)日: 2021-07-30
發明(設計)人: 劉廣輝;吳凱 申請(專利權)人: 歌爾微電子有限公司
主分類號: H04R19/00 分類號: H04R19/00;H04R19/04
代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 代理人: 梁馨怡
地址: 266100 山東省*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 傳感器 電子產品
【權利要求書】:

1.一種傳感器,其特征在于,包括:

基板;

封裝殼,所述封裝殼罩設于所述基板,并與所述基板圍合形成容納腔;

ASIC芯片,所述ASIC芯片設于所述基板,并位于所述容納腔;

MEMS芯片,所述MEMS芯片設于所述基板,并位于所述容納腔,所述MEMS芯片具有朝向所述ASIC芯片的第一側壁以及朝向所述封裝殼的第二側壁;以及

防護件,所述防護件設于所述基板,并位于所述第二側壁與所述封裝殼之間。

2.如權利要求1所述的傳感器,其特征在于,在垂直于所述基板的方向上,所述防護件的高度大于所述MEMS芯片的高度。

3.如權利要求2所述的傳感器,其特征在于,在垂直于所述基板的方向上,定義所述防護件遠離所述基板的一端與所述封裝殼之間的間距為D,滿足50μm≤D≤100μm。

4.如權利要求3所述的傳感器,其特征在于,所述防護件圍繞所述MEMS芯片的周側設置。

5.如權利要求4所述的傳感器,其特征在于,在平行于所述基板的方向上,所述防護件與所述封裝殼間隔設置。

6.如權利要求4所述的傳感器,其特征在于,在平行于所述基板的方向上,所述防護件與所述MEMS芯片間隔設置。

7.如權利要求1至6任意一項所述的傳感器,其特征在于,所述封裝殼與所述基板錫膏焊接固定。

8.如權利要求1至6任意一項所述的傳感器,其特征在于,所述防護件為板狀結構;

和/或,所述防護件為絕緣部件。

9.如權利要求1至6任意一項所述的傳感器,其特征在于,所述MEMS芯片具有振膜,所述基板設有聲孔,所述聲孔對應所述振膜設置。

10.一種電子產品,其特征在于,包括如權利要求1至9任意一項所述的傳感器。

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