[實用新型]一種碳化硅晶體缺陷的檢測裝置

有效

• 申請號: 202023167935.9
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN213986159U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 陳敬楠;張平;鄒宇
• 申請（專利權）人: 江蘇天科合達半導體有限公司;北京天科合達半導體股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 夏菁

1.一種碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，包括檢測箱體(1)，所述檢測箱體(1)的箱壁具有遮光功能，所述檢測箱體(1)中間設置有豎直布置的透明隔板(2)，所述透明隔板(2)將所述檢測箱體(1)分隔成前箱室(11)和后箱室(12)；所述前箱室(11)內設置有光源(3)和豎直布置的夾具(4)，所述夾具(4)用于夾持豎直放置的柱狀碳化硅晶體(5)，所述夾具(4)連接有用于驅動所述夾具(4)繞其自身的豎直軸轉動的轉動部件(6)，所述光源(3)用于向所述柱狀碳化硅晶體(5)朝向所述透明隔板(2)的一側投射光線，所述前箱室(11)的頂箱壁和/或側箱壁為可開合的箱壁結構；所述后箱室(12)正對所述透明隔板(2)的一側箱壁上設置有觀察窗口(7)。

2.如權利要求1所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述可開合的箱壁結構為遮光板，所述遮光板的一側邊沿與所述前箱室(11)的框架固定連接，所述遮光板的其他側邊沿與所述前箱室(11)的框架通過卡扣或掛鉤連接。

3.如權利要求1所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述夾具(4)包括可轉動地設置于所述前箱室(11)內底部的下夾座(41)和位于所述下夾座(41)的正上方的上夾頭(42)，所述下夾座(41)上設置有豎直布置的滑桿，所述上夾頭(42)上設置有供所述滑桿穿過的過孔，所述上夾頭(42)能夠沿所述滑桿滑動，且所述滑桿上設置有與所述滑桿螺紋配合的限位螺母，所述限位螺母用于向所述上夾頭(42)施加壓緊力以使所述上夾頭(42)將所述柱狀碳化硅晶體(5)壓緊在所述下夾座(41)上。

4.如權利要求3所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述轉動部件(6)為設置在所述前箱室(11)的外側的底部的旋鈕，所述旋鈕與所述下夾座(41)的底部連接。

5.如權利要求1所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述光源(3)設置在所述前箱室(11)的框梁上，且所述光源(3)的光線投射角度可調節。

6.如權利要求5所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述光源(3)固定在帶阻尼的球鉸擺桿(8)上，所述球鉸擺桿(8)的球鉸部與所述前箱室(11)的框梁球鉸連接，所述球鉸擺桿(8)的內側桿與所述光源(3)固定，所述球鉸擺桿(8)的外側桿伸出所述前箱室(11)的箱壁并形成有調光撥桿(9)，通過撥動所述調光撥桿(9)能夠帶動所述光源(3)運動從而實現光源(3)的投射光線的角度調節。

7.如權利要求6所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述球鉸擺桿(8)設置在所述前箱室(11)的頂部框梁上。

8.如權利要求6所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述球鉸擺桿(8)設置在所述前箱室(11)的底部框梁上。

9.如權利要求6所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述球鉸擺桿(8)設置在所述前箱室(11)的側部框梁上。

10.如權利要求1所述的碳化硅晶體缺陷的檢測裝置，其特征在于，所述夾具(4)為設置在所述前箱室(11)的底部的三爪卡盤結構。