[實用新型]傳輸裝置

有效

• 申請號: 202023154387.6
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN214398922U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 宋新豐
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本實用新型提供一種傳輸裝置，用于半導體設備，包括主體、驅動組件、傳動部件和多個用于承載待加工工件的承載部件，承載部件包括基準件和位于基準件上方的多個活動件，基準件與主體固定連接，多個活動件彼此間隔設置，且均與主體沿第一方向滑動連接；傳動部件與主體沿第二方向滑動連接，其包括在第一方向上間隔設有多個斜面傾角不同的滑動斜面，滑動斜面和活動件一一對應設置且滑動配合；各滑動斜面和基準件間在第一方向上的距離越遠，對應的斜面傾角越大；驅動組件與傳動部件驅動連接，用于驅動傳動部件沿第二方向滑動。本實用新型提供的傳輸裝置能夠提高各活動件移動距離的精度，從而使多個活動件之間的間距在調節后能夠與設計間距相符。

技術領域

本實用新型涉及半導體設備技術領域，具體地，涉及一種傳輸裝置。

背景技術

半導體立式爐設備通常用于進行例如氧化薄膜、退火和低壓化學氣相沉積(LPCVD)等熱處理工藝。在半導體立式爐設備中，通常使用例如機械手等傳輸裝置，在用于存儲硅片的存儲盒和用于承載硅片進行半導體工藝的承載舟之間傳輸硅片，機械手通常設置有多個片叉，各片叉用于分別承載一個硅片，以提高機械手傳輸硅片的效率。但是，由于存儲盒內存儲的多個硅片間的間距與承載舟上承載的多個硅片間的間距通常是不同的，并且不同的存儲盒存儲的多個硅片間的間距，以及不同的承載舟上承載的多個硅片間的間距通常也是不同的，因此，機械手在存儲盒和承載舟之間傳輸硅片時，多個片叉間的間距需要能夠調節，并且，各片叉所需調節的行程不同，以使多個片叉間的間距保持不變。

現有機械手通常包括多個轉軸和不同螺距的多個螺母，多個螺母分別設置在多個轉軸上，多個片叉中的一個片叉作為基準片叉固定不動，其它多個片叉與多個螺母一一對應配合，在多個片叉間的間距進行調節時，多個轉軸同時轉動，以帶動設置在其上的各螺母轉動，螺母的轉動又帶動與其配合的各片叉升降，由于各螺母的螺距不同，因此，各片叉的升降行程也不同，從而能夠使各片叉調節的行程不同，但是，多種不同螺距的螺母會使得加工困難，且精度難以保證，從而導致各片叉升降后，多個片叉間的間距與設計間距不同，并且，多個轉軸之間的轉動誤差，會使得各片叉的升降不同步，也會導致各片叉升降后，多個片叉間的間距與設計間距不同。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種傳輸裝置，其能夠提高各活動件移動距離的精度，從而使多個活動件之間的間距在調節后能夠與設計間距相符。

為實現本實用新型的目的而提供一種傳輸裝置，用于半導體設備，包括主體、驅動組件、傳動部件和多個用于承載待加工工件的承載部件，所述承載部件包括：基準件和位于所述基準件上方的多個活動件，所述基準件與所述主體固定連接，多個所述活動件彼此間隔設置，且多個所述活動件均與所述主體沿第一方向滑動連接；

所述傳動部件與所述主體沿第二方向滑動連接，所述傳動部件包括在所述第一方向上間隔設有多個斜面傾角不同的滑動斜面，所述滑動斜面和所述活動件一一對應設置，且所述活動件與所述滑動斜面滑動配合；

各所述滑動斜面和所述基準件間在第一方向上的距離越遠，對應的所述斜面傾角越大；

所述驅動組件與所述傳動部件驅動連接，用于驅動所述傳動部件沿所述第二方向滑動。

優選的，所述驅動組件包括旋轉驅動源和齒輪，所述旋轉驅動源的固定端固定于所述主體上，所述旋轉驅動源的驅動端驅動所述齒輪轉動；

所述傳動部件上設有多個沿直線排列的第一齒結構，多個所述第一齒結構與所述齒輪相嚙合。

優選的，所述傳動部件為兩組，兩組所述傳動部件分別設置于所述主體的兩側；

所述齒輪位于兩組所述傳動部件之間，兩組所述傳動部件上的所述滑動斜面的傾斜方向相反。

優選的，每組所述傳動部件均包括多個傳動桿，所述傳動桿朝向所述主體的一側設有多個所述第一齒結構，所述傳動桿朝向所述承載部件的一端形成有所述滑動斜面。