[實用新型]傳輸裝置

有效

• 申請號: 202023154387.6
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN214398922U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 宋新豐
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種傳輸裝置，用于半導體設備，其特征在于，包括主體、驅動組件、傳動部件和多個用于承載待加工工件的承載部件，所述承載部件包括：基準件和位于所述基準件上方的多個活動件，所述基準件與所述主體固定連接，多個所述活動件彼此間隔設置，且多個所述活動件均與所述主體沿第一方向滑動連接；

所述傳動部件與所述主體沿第二方向滑動連接，所述傳動部件包括在所述第一方向上間隔設有多個斜面傾角不同的滑動斜面，所述滑動斜面和所述活動件一一對應設置，且所述活動件與所述滑動斜面滑動配合；

各所述滑動斜面和所述基準件間在第一方向上的距離越遠，對應的所述斜面傾角越大；

所述驅動組件與所述傳動部件驅動連接，用于驅動所述傳動部件沿所述第二方向滑動。

2.根據權利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，所述驅動組件包括旋轉驅動源和齒輪，所述旋轉驅動源的固定端固定于所述主體上，所述旋轉驅動源的驅動端驅動所述齒輪轉動；

所述傳動部件上設有多個沿直線排列的第一齒結構，多個所述第一齒結構與所述齒輪相嚙合。

3.根據權利要求2所述的傳輸裝置，其特征在于，所述傳動部件為兩組，兩組所述傳動部件分別設置于所述主體的兩側；

所述齒輪位于兩組所述傳動部件之間，兩組所述傳動部件上的所述滑動斜面的傾斜方向相反。

4.根據權利要求3所述的傳輸裝置，其特征在于，每組所述傳動部件均包括多個傳動桿，所述傳動桿朝向所述主體的一側設有多個所述第一齒結構，所述傳動桿朝向所述承載部件的一端形成有所述滑動斜面。

5.根據權利要求4所述的傳輸裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括傳動軸，傳動軸沿軸向間隔設有多個所述齒輪，所述旋轉驅動源驅動所述傳動軸轉動；各所述齒輪分別與一個所述傳動桿嚙合連接，和/或各所述齒輪分別與位于所述主體兩側的兩個所述傳動桿嚙合連接。

6.根據權利要求5所述的傳輸裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括第一傳動輪、第二傳動輪和傳動帶，所述旋轉驅動源的驅動端與所述第一傳動輪連接，所述第二傳動輪與所述傳動軸連接；所述傳動帶分別與所述第一傳動輪和所述第二傳動輪連接。

7.根據權利要求6所述的傳輸裝置，其特征在于，所述第一傳動輪和所述第二傳動輪的外周上均設有周向排布的第二齒結構，所述第二齒結構和所述傳動帶相配合。

8.根據權利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，多個所述滑動斜面的斜面傾角呈不同的預設角度，多個所述預設角度使所述滑動斜面能夠帶動多個所述活動件在所述第一方向上的移動距離呈等差數列。

9.根據權利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，所述活動件的端部設有滾動部件，所述滾動部件與所述滑動斜面滾動配合。

10.根據權利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸裝置還包括均設置在所述主體上的第一導向部件和第二導向部件，所述活動件與所述第一導向部件連接，所述活動件通過所述第一導向部件沿所述第一方向移動；所述傳動部件與所述第二導向部件連接，所述傳動部件通過所述第二導向部件沿第二方向移動；所述第一方向和所述第二方向相垂直。