[實(shí)用新型]一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023151431.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214348182U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣松杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州恩斯貝格精密機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/02;B08B1/02
• 代理公司: 溫州知遠(yuǎn)專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33262
• 代理人: 湯時(shí)達(dá)

本實(shí)用新型涉及一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置，包括清洗腔，上噴頭，下噴頭，清洗滾刷和轉(zhuǎn)動(dòng)組件，上噴頭和下噴頭分別設(shè)置在清洗腔的上方和下方，兩個(gè)清洗滾刷相對(duì)設(shè)置，多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)組件環(huán)繞清洗滾刷設(shè)置，轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)部，轉(zhuǎn)動(dòng)部和定位件，驅(qū)動(dòng)部設(shè)有導(dǎo)向柱，轉(zhuǎn)動(dòng)部套設(shè)在導(dǎo)向柱上，轉(zhuǎn)動(dòng)部具有錐形凹槽，轉(zhuǎn)動(dòng)部由彈性材料制成，定位件包括限位板和安裝柱，安裝柱一端固定在限位板上，安裝柱穿過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)部且插設(shè)在驅(qū)動(dòng)部中，驅(qū)動(dòng)部側(cè)面設(shè)有定位孔，鎖緊件穿過(guò)定位孔且抵壓在安裝柱的環(huán)形槽中。本實(shí)用新型的一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置能夠?qū)崿F(xiàn)上下同步清洗，有效提升了清洗效率；此外，能夠通過(guò)滾刷和噴頭同時(shí)清洗，提升了清洗效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓切割環(huán)的加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置。

背景技術(shù)

目前，在晶圓加工過(guò)程中，需要進(jìn)行貼膜工序。在該工序中，用貼片膜把晶圓貼在晶圓切割環(huán)上，從而在劃片以及其它工序中將晶圓保持穩(wěn)固的位置。晶圓切割環(huán)在生產(chǎn)過(guò)程中要經(jīng)過(guò)拋光，拋光之后需要進(jìn)行清洗，從而洗掉拋光產(chǎn)生碎屑顆粒。現(xiàn)有的清洗方式通常采用人工清洗或噴淋清洗，但是，人工清洗效率較低，噴淋清洗難以清洗干凈，清洗效果較差。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提供了一種能夠提升清洗效率和效果的晶圓切割環(huán)的清洗裝置。

具體技術(shù)方案如下：一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置，包括清洗腔，上噴頭，下噴頭，清洗滾刷和轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述上噴頭和下噴頭分別設(shè)置在清洗腔的上方和下方，兩個(gè)清洗滾刷相對(duì)設(shè)置，多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)組件環(huán)繞清洗滾刷設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)部，轉(zhuǎn)動(dòng)部和定位件，所述驅(qū)動(dòng)部設(shè)有導(dǎo)向柱，轉(zhuǎn)動(dòng)部套設(shè)在導(dǎo)向柱上，轉(zhuǎn)動(dòng)部具有錐形凹槽，轉(zhuǎn)動(dòng)部由彈性材料制成，所述定位件包括限位板和安裝柱，安裝柱一端固定在限位板上，安裝柱穿過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)部且插設(shè)在驅(qū)動(dòng)部中，驅(qū)動(dòng)部側(cè)面設(shè)有定位孔，鎖緊件穿過(guò)定位孔且抵壓在安裝柱的環(huán)形槽中。

作為優(yōu)選方案，所述清洗腔內(nèi)設(shè)有定位組件，定位組件包括定位塊，支撐塊，轉(zhuǎn)動(dòng)部和彈簧，所述彈簧抵壓定位塊，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部設(shè)置在定位塊底部及支撐塊的頂部。

作為優(yōu)選方案，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部為球體。

作為優(yōu)選方案，所述彈簧套設(shè)在連接桿上，定位塊與連接桿活動(dòng)連接。

作為優(yōu)選方案，所述定位塊頂部設(shè)有凹陷部，彈簧一端位于凹陷部中。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果：本實(shí)用新型的一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置能夠?qū)崿F(xiàn)上下同步清洗，有效提升了清洗效率；此外，能夠通過(guò)滾刷和噴頭同時(shí)清洗，提升了清洗效果。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置的示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的轉(zhuǎn)動(dòng)組件的示意圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)部的示意圖。

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種晶圓切割環(huán)的清洗裝置的俯視圖。

圖5是本實(shí)用新型圖1中A部分的放大圖。

具體實(shí)施方式

下面，結(jié)合實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)作進(jìn)一步的說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不局限于所列的實(shí)施例。