[實用新型]一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023147463.0
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN214300318U
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙濤
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院有限責(zé)任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 劉娜

本實用新型公開了一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，包括坩堝本體和襯鍋，襯鍋位于坩堝本體內(nèi)部，且襯鍋外壁與坩堝本體內(nèi)壁之間設(shè)置有間隙，間隙的寬度為0.5?1mm，襯鍋底部與坩堝本體底部的間隙內(nèi)還設(shè)置有導(dǎo)熱塊，襯鍋的外側(cè)壁還包覆有導(dǎo)熱薄膜層。本實用新型的帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，減少了金屬預(yù)熔的重量，對于貴金屬而言，大幅度降低無收益資產(chǎn)，使用襯鍋蒸鍍同樣的速率蒸鍍功率能下降30％?45％，提高了金屬的鍍膜速率，縮短鍍膜時間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于蒸鍍設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工廠中，都會使用到金屬蒸鍍機臺，利用電子束(E-beam)蒸鍍的方法來蒸鍍不同的金屬。在傳統(tǒng)蒸鍍過程中，一些金屬被直接預(yù)熔到坩堝，很少被預(yù)熔到襯鍋中，而這種情況存在重要缺陷：一、預(yù)熔金屬需要大量的原材料，對于貴金屬而言，其市場價格太高，前期投入很大，造成企業(yè)無收益資產(chǎn)過高，不利于企業(yè)運營。例如貴金屬Au，一次預(yù)熔大約需要500g，按照市場價格400元每克(2020年市場價格)計算，大約需要20萬人民。二、金屬直接預(yù)熔在坩堝內(nèi)，造成蒸鍍時鍍膜功率太高，同時鍍膜速率比較低，不利于企業(yè)縮短生產(chǎn)周期，造成企業(yè)運營成本過高。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，解決了現(xiàn)有金屬蒸鍍用坩堝鍍膜速率低下的問題。

本實用新型所采用的技術(shù)方案是，一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，包括坩堝本體和襯鍋，襯鍋位于坩堝本體內(nèi)部，且襯鍋外壁與坩堝本體內(nèi)壁之間設(shè)置有間隙，間隙的寬度為0.5-1mm，襯鍋底部與坩堝本體底部的間隙內(nèi)還設(shè)置有導(dǎo)熱塊，襯鍋的外側(cè)壁還包覆有導(dǎo)熱薄膜層。

本實用新型的特點還在于，

襯鍋的壁厚為3-10mm，坩堝本體的壁厚為2-3cm。

導(dǎo)熱薄膜層的厚度為0.5mm；導(dǎo)熱薄膜層位于襯鍋上部。

導(dǎo)熱塊為圓形導(dǎo)熱塊或者矩形導(dǎo)熱塊。

襯鍋、導(dǎo)熱塊和導(dǎo)熱薄膜層均由導(dǎo)熱材料制成。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型的帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，減少了金屬預(yù)熔的重量，對于貴金屬而言，大幅度降低無收益資產(chǎn)，設(shè)計的襯鍋，需要Au大約250g就能滿足原有生產(chǎn)的需求。使用襯鍋蒸鍍同樣的速率蒸鍍功率能下降30％-45％，提高了金屬的鍍膜速率，縮短鍍膜時間。

附圖說明

圖1是本實用新型一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1.坩堝本體，2.襯鍋，3.導(dǎo)熱塊，4.導(dǎo)熱薄膜層。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。

本實用新型一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，如圖1所示，包括坩堝本體1和襯鍋2，襯鍋2位于坩堝本體1內(nèi)部，且襯鍋2外壁與坩堝本體1內(nèi)壁之間設(shè)置有間隙；襯鍋2底部與坩堝本體1底部的間隙內(nèi)還設(shè)置有導(dǎo)熱塊3，導(dǎo)熱塊3為圓形導(dǎo)熱塊或者矩形導(dǎo)熱塊，導(dǎo)熱塊3的厚度與間隙一致；襯鍋2的壁厚為3-10mm，間隙的寬度為0.5-1mm，坩堝本體1的壁厚為2-3cm；

襯鍋2的外側(cè)壁還包覆有導(dǎo)熱薄膜層4，導(dǎo)熱薄膜層4的厚度為0.5mm；導(dǎo)熱薄膜層4位于襯鍋2上部；

襯鍋2、導(dǎo)熱塊3和導(dǎo)熱薄膜層4均由導(dǎo)熱材料制成；

導(dǎo)熱材料為石墨、銅、銀、鋁中的任意一種。