[實用新型]一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023147463.0 | 申請日： | 2020-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN214300318U | 公開（公告）日： | 2021-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙濤 | 申請（專利權(quán)）人： | 陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務(wù)所 61214 | 代理人： | 劉娜 |
| 地址： | 710065 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 帶有 金屬 蒸鍍用 坩堝 | ||
1.一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，其特征在于，包括坩堝本體(1)和襯鍋(2)，所述襯鍋(2)位于坩堝本體(1)內(nèi)部，且所述襯鍋(2)外壁與坩堝本體(1)內(nèi)壁之間設(shè)置有間隙，所述間隙的寬度為0.5-1mm，所述襯鍋(2)底部與坩堝本體(1)底部的間隙內(nèi)還設(shè)置有導(dǎo)熱塊(3)，所述襯鍋(2)的外側(cè)壁還包覆有導(dǎo)熱薄膜層(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，其特征在于，所述襯鍋(2)的壁厚為3-10mm，所述坩堝本體(1)的壁厚為2-3cm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，其特征在于，所述導(dǎo)熱薄膜層(4)的厚度為0.5mm；所述導(dǎo)熱薄膜層(4)位于襯鍋(2)上部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，其特征在于，所述導(dǎo)熱塊(3)為圓形導(dǎo)熱塊或者矩形導(dǎo)熱塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有襯鍋的金屬蒸鍍用坩堝，其特征在于，所述襯鍋(2)、導(dǎo)熱塊(3)和導(dǎo)熱薄膜層(4)均由導(dǎo)熱材料制成。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
