[實用新型]一種晶棒研磨夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023146458.8 | 申請日： | 2020-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN213917715U | 公開（公告）日： | 2021-08-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 梁成華 | 申請（專利權）人： | 藍思科技（長沙）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/30 | 分類號： | B24B37/30;B24B41/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李宏志 |
| 地址： | 410100 湖南省長*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 夾具 | ||
1.一種晶棒研磨夾具，其特征在于，包括：
設有至少兩組夾持部的緊固架(1)；
具有定位面(21)的定位架(2)，當全部穿過所述夾持部的晶棒(01)的基準面(02)與所述定位面(21)相抵時，所述夾持部夾緊所穿過的晶棒(01)；
用以支撐所述緊固架(1)以使被夾緊的全部晶棒(01)的基準面(02)朝上放置的支撐架(3)。
2.根據(jù)權利要求1所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，任意一組所述夾持部包括：
設于所述緊固架(1)以供單根晶棒(01)穿過的安裝孔(11)，所述安裝孔(11)的內壁設有固定槽(12)；
具有與所述固定槽(12)相對的活動槽(13)且位于所述安裝孔(11)內的夾持塊(14)；
穿過所述緊固架(1)且與所述夾持塊(14)相固連、用以推動所述夾持塊(14)靠近所述固定槽(12)以使所述活動槽(13)與所述固定槽(12)配合夾緊晶棒(01)的頂推螺桿(15)。
3.根據(jù)權利要求2所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，任意一組所述夾持部還包括設于所述夾持塊(14)與所述緊固架(1)之間并用以引導所述夾持塊(14)滑動的導向桿(16)和導向孔。
4.根據(jù)權利要求2所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，所述固定槽(12)與所述活動槽(13)的相對側均設有緩沖墊。
5.根據(jù)權利要求1至4任一項所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，所述定位架(2)包括垂直固設于所述定位面(21)并用以支撐所述緊固架(1)以使全部晶棒(01)的基準面(02)對齊并使全部晶棒(01)遠離基準面(02)一端突出于所述緊固架(1)的側立板(22)。
6.根據(jù)權利要求5所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，所述側立板(22)與所述緊固架(1)之間設有相互配合以限定二者位置的限位銷(23)和限位孔(17)。
7.根據(jù)權利要求1至4任一項所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，所述支撐架(3)包括承托板(31)，所述承托板(31)依靠磁吸力固定于工作臺。
8.根據(jù)權利要求7所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，所述支撐架(3)還包括垂直固設于所述承托板(31)且與所述緊固架(1)相固連的側支板(32)，所述側支板(32)與所述緊固架(1)之間設有相互配合以限定二者的定位銷(33)和定位孔。
9.根據(jù)權利要求1至4任一項所述的晶棒研磨夾具，其特征在于，所述緊固架(1)及所述支撐架(3)均設有把手(4)。
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