[實(shí)用新型]一種晶棒研磨夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023146458.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213917715U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁成華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 藍(lán)思科技（長(zhǎng)沙）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B37/30
• 分類(lèi)號(hào): B24B37/30;B24B41/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李宏志

本實(shí)用新型公開(kāi)一種晶棒研磨夾具，包括緊固架、定位架和支撐架，緊固架設(shè)有夾持部，定位架設(shè)有定位面。裝夾時(shí)，先將晶棒逐一插入夾持部?jī)?nèi)，使全部晶棒的基準(zhǔn)面與定位面相抵；再調(diào)節(jié)夾持部，每個(gè)夾持部夾持所穿過(guò)的晶棒；最后，翻轉(zhuǎn)緊固架，將翻轉(zhuǎn)后的緊固架固定在支撐架上，使全部晶棒的基準(zhǔn)面朝上放置，為砂輪統(tǒng)一研磨全部晶棒做準(zhǔn)備。緊固架設(shè)有至少兩組夾持部，每個(gè)夾持部對(duì)應(yīng)夾緊一根晶棒，避免晶棒夾持不穩(wěn)，有利于提升研磨質(zhì)量；另外，緊固架可同時(shí)夾持多根晶棒，使砂輪同時(shí)研磨多根晶棒，適于批量研磨，研磨效率得到提升。因此，本實(shí)用新型所提供的晶棒研磨夾具能夠同時(shí)提升研磨質(zhì)量和研磨效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶棒加工工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶棒研磨夾具。

背景技術(shù)

晶棒，尤其是藍(lán)寶石晶棒，具有高透光性、高硬度及抗腐蝕等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、紅外裝置及光罩材料上。晶棒的加工工藝涉及研磨晶棒端面，研磨過(guò)程中需借助晶棒研磨夾具夾持固定晶棒。然而，現(xiàn)有晶棒研磨夾具尚存在一些不足。例如，常見(jiàn)的晶棒研磨夾具為虎鉗，但虎鉗每次只能夾持一根晶棒，使砂輪每次僅能研磨一根晶棒的端面，且每次裝夾晶棒時(shí)需依據(jù)砂輪的高度反復(fù)調(diào)整晶棒的夾持長(zhǎng)度，研磨時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，研磨效率較低。再例如，部分研磨晶棒夾具設(shè)有V型槽，多根晶棒緊密排列于V型槽內(nèi)，再利用蓋板壓緊固定晶棒，而晶棒的外周通常圓柱狀，使相鄰晶棒之間存在較大縫隙，夾持不穩(wěn)定，研磨過(guò)程中易松動(dòng)，影響研磨質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶棒研磨夾具，緊固架設(shè)有至少兩組夾持部，每個(gè)夾持部夾持一根晶棒，防止晶棒在研磨過(guò)程中松脫，實(shí)現(xiàn)同時(shí)研磨多根晶棒，研磨質(zhì)量和研磨效率均得到提升。

其具體方案如下：

本實(shí)用新型所提供的晶棒研磨夾具，包括：

設(shè)有至少兩組夾持部的緊固架；

具有定位面的定位架，當(dāng)全部穿過(guò)夾持部的晶棒基準(zhǔn)面與定位面相抵時(shí)，夾持部夾緊所穿過(guò)的晶棒；

用以支撐緊固架以使被夾緊的全部晶棒的基準(zhǔn)面朝上放置的支撐架。

優(yōu)選的，任意一組夾持部包括：

設(shè)于緊固架以供單根晶棒穿過(guò)的安裝孔，安裝孔的內(nèi)壁設(shè)有固定槽；

具有與固定槽相對(duì)的活動(dòng)槽且位于安裝孔內(nèi)的夾持塊；

穿過(guò)緊固架且與夾持塊相固連、用以推動(dòng)夾持塊靠近固定槽以使活動(dòng)槽與固定槽配合夾緊晶棒的頂推螺桿。

優(yōu)選的，任意一組夾持部還包括設(shè)于夾持塊與緊固架之間并用以引導(dǎo)夾持塊滑動(dòng)的導(dǎo)向桿和導(dǎo)向孔。

優(yōu)選的，固定槽與活動(dòng)槽的相對(duì)側(cè)均設(shè)有緩沖墊。

優(yōu)選的，定位架包括垂直固設(shè)于定位面并用以支撐緊固架以使全部晶棒的基準(zhǔn)面對(duì)齊并使全部晶棒遠(yuǎn)離基準(zhǔn)面一端突出于緊固架的側(cè)立板。

優(yōu)選的，側(cè)立板與緊固架之間設(shè)有相互配合以限定二者位置的限位銷(xiāo)和限位孔。

優(yōu)選的，支撐架包括承托板，承托板依靠磁吸力固定于工作臺(tái)。

優(yōu)選的，支撐架還包括垂直固設(shè)于承托板且與緊固架相固連的側(cè)支板，側(cè)支板與緊固架之間設(shè)有相互配合以限定二者的定位銷(xiāo)和定位孔。

優(yōu)選的，緊固架及支撐架均設(shè)有把手。

相對(duì)于背景技術(shù)，本實(shí)用新型所提供的晶棒研磨夾具包括緊固架、定位架和支撐架，緊固架設(shè)有夾持部，定位架設(shè)有定位面。裝夾時(shí)，先將晶棒逐一插入夾持部?jī)?nèi)，使全部晶棒的基準(zhǔn)面與定位面相抵；再調(diào)節(jié)夾持部，每個(gè)夾持部夾持所穿過(guò)的晶棒；最后，翻轉(zhuǎn)緊固架，將翻轉(zhuǎn)后的緊固架固定在支撐架上，使全部晶棒的基準(zhǔn)面朝上放置，為砂輪統(tǒng)一研磨全部晶棒做準(zhǔn)備。