[實(shí)用新型]一種白光共聚焦膜厚量測(cè)精密龍門機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023089925.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN213956267U
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬觀嵐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇才道精密儀器有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 朱遠(yuǎn)楓

本實(shí)用新型提供了一種白光共聚焦膜厚量測(cè)精密龍門機(jī)臺(tái)，包括大理石平臺(tái)和大理石橫梁，大理石平臺(tái)上安裝Y軸絲桿傳動(dòng)組件，大理石平臺(tái)兩相對(duì)邊設(shè)置Y軸導(dǎo)軌，大理石橫梁的底部設(shè)有套于Y軸絲桿外部的連接板以及能夠在Y軸導(dǎo)軌上移動(dòng)的立柱，大理石橫梁安裝有X軸絲桿傳動(dòng)組件，影像測(cè)量?jī)x還包括Z軸組件，X軸絲桿傳動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)Z軸組件在X軸方向上移動(dòng)，Z軸組件包括交叉導(dǎo)軌、滑板、Z軸絲桿傳動(dòng)組件，交叉導(dǎo)軌連接滑板，Z軸絲桿傳動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)滑板在交叉導(dǎo)軌上沿Z軸上下移動(dòng)，滑板上安裝單筒鏡頭和白光聚焦位移傳感器。本實(shí)用新型不僅操作簡(jiǎn)單方便、成本低而且工藝簡(jiǎn)單，保證了檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性；單筒顯微鏡與白光聚焦位移傳感器相結(jié)合同時(shí)運(yùn)行，節(jié)約時(shí)間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及圖像檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種白光共聚焦膜厚量測(cè)精密龍門機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)

由于單筒顯微鏡進(jìn)行影像測(cè)量時(shí)只能檢測(cè)產(chǎn)品的平面檢測(cè)，不能獨(dú)立使用檢測(cè)產(chǎn)品的厚度，針對(duì)一些不透光、多層產(chǎn)品厚度、夾膠厚度或者中空層間隙等產(chǎn)品時(shí)就需要與白光聚焦位移傳感器相結(jié)合使用，白光聚焦位移傳感器可以高精度穩(wěn)定測(cè)量透明體厚度并可同時(shí)測(cè)量不同層面的位置值。但是目前將結(jié)合白光聚焦位移傳感器結(jié)合的測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域中市場(chǎng)上公知的小行程單驅(qū)絲桿傳動(dòng)檢測(cè)設(shè)備，機(jī)型行程：600乘以800有效行程內(nèi)，外形尺寸：1440mm*1640mm*1600mm，因此需要設(shè)計(jì)一款尺寸更小的設(shè)備實(shí)現(xiàn)影像測(cè)量。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在提供尺寸更小的影像檢測(cè)設(shè)備。

本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案。

一種白光共聚焦膜厚量測(cè)精密龍門機(jī)臺(tái)，包括大理石平臺(tái)和大理石橫梁，包括：所述大理石平臺(tái)上安裝包括Y軸絲桿的Y軸絲桿傳動(dòng)組件，所述大理石平臺(tái)兩相對(duì)邊設(shè)置Y軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌與所述Y軸絲桿平行，所述大理石橫梁的底部設(shè)有套于Y軸絲桿外部的連接板以及能夠在Y軸導(dǎo)軌上移動(dòng)的立柱，所述Y軸絲桿傳動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)所述大理石橫梁和所述立柱在Y軸方向上移動(dòng)，所述大理石橫梁安裝有X軸絲桿傳動(dòng)組件，所述影像測(cè)量?jī)x還包括Z軸組件，所述X軸絲桿傳動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)Z軸組件在X軸方向上移動(dòng)，所述Z軸組件包括交叉導(dǎo)軌、滑板、Z軸絲桿傳動(dòng)組件，所述交叉導(dǎo)軌連接所述滑板，所述Z軸絲桿傳動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)所述滑板在交叉導(dǎo)軌上沿Z軸上下移動(dòng)，所述滑板上設(shè)置單筒鏡頭和白光聚焦位移傳感器，所述X軸絲桿傳動(dòng)組件包括X軸馬達(dá)、X軸絲桿、以及X軸馬達(dá)和X軸絲桿的聯(lián)軸器，所述大理石橫梁還安裝X軸線性導(dǎo)軌，所述X軸線性導(dǎo)軌與所述X軸絲桿平行，所述滑板套在X軸絲桿上，兩端與所述X軸線性導(dǎo)軌配合。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述滑板還包括上滑面，所述上滑面邊緣設(shè)置卡邊，在所述大理石橫梁上設(shè)置滑槽軌道，所述滑槽軌道與所述X軸軌道平行，所述上滑面能夠通過(guò)卡邊在滑槽軌道內(nèi)滑動(dòng)。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述滑板外部還設(shè)置殼體和蓋板，所述殼體下方能夠露出所述單筒鏡頭和白光聚焦位移傳感器，所述殼體背面能夠露出所述卡邊，以使得所述卡邊能夠在大理石橫梁上的滑槽軌道內(nèi)滑動(dòng)。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案， 所述連接板上有沿X軸的下光源導(dǎo)軌，所述下光源導(dǎo)軌上有固定下光源治具。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，在所述X軸線性導(dǎo)軌上固定有滑輪,所述滑輪用于帶動(dòng)下光源沿下光源導(dǎo)軌運(yùn)行。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述大理石平臺(tái)固定在鈑金底座上。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述大理石平臺(tái)上表面四周還設(shè)置平臺(tái)殼體。優(yōu)選地，所述平臺(tái)殼體的前鈑金上固定啟動(dòng)按鈕與急停按鈕本實(shí)用新型所取得的有益技術(shù)效果：（1）本實(shí)用新型不僅操作簡(jiǎn)單方便、成本低而且工藝簡(jiǎn)單，保證了檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性；（2）本實(shí)用新型中，單筒顯微鏡與白光聚焦位移傳感器相結(jié)合同時(shí)運(yùn)行，節(jié)約時(shí)間。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供的一種白光共聚焦膜厚量測(cè)精密龍門機(jī)臺(tái)整體結(jié)構(gòu)視圖；