[實用新型]一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺

有效

• 申請號: 202023089925.8
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN213956267U
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發明（設計）人: 馬觀嵐
• 申請（專利權）人: 江蘇才道精密儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 朱遠楓

1.一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，包括：大理石平臺和大理石橫梁，所述大理石平臺上安裝包括Y軸絲桿的Y軸絲桿傳動組件，所述大理石平臺兩相對邊設置Y軸導軌，所述Y軸導軌與所述Y軸絲桿平行，所述大理石橫梁的底部設有套于Y軸絲桿外部的連接板以及能夠在Y軸導軌上移動的立柱，所述大理石橫梁安裝有X軸絲桿傳動組件，所述白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺還包括Z軸組件，所述X軸絲桿傳動組件能夠驅動Z軸組件在X軸方向上移動，所述Z軸組件包括交叉導軌、滑板、Z軸絲桿傳動組件，所述交叉導軌連接所述滑板，所述Z軸絲桿傳動組件能夠驅動所述滑板在交叉導軌上沿Z軸上下移動，所述滑板上安裝單筒鏡頭和白光聚焦位移傳感器，所述X軸絲桿傳動組件包括X軸馬達、X軸絲桿、以及X軸馬達和X軸絲桿的聯軸器，所述大理石橫梁還安裝X軸線性導軌，所述X軸線性導軌與所述X軸絲桿平行，所述滑板套在X軸絲桿上，兩端與所述X軸線性導軌配合。

2.根據權利要求1所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述滑板還包括上滑面，所述上滑面邊緣設置卡邊，在所述大理石橫梁上設置滑槽軌道，所述滑槽軌道與所述X軸軌道平行，所述上滑面能夠通過卡邊在滑槽軌道內滑動。

3.根據權利要求2所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述滑板外部還設置殼體和蓋板，所述殼體下方能夠露出所述單筒鏡頭和白光聚焦位移傳感器，所述殼體背面能夠露出所述卡邊，以使得所述卡邊能夠在大理石橫梁上的滑槽軌道內滑動。

4.根據權利要求1所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述連接板上有沿X軸的下光源導軌，所述下光源導軌上有固定下光源治具。

5.根據權利要求4所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，在所述X軸線性導軌上固定有滑輪,所述滑輪用于帶動下光源沿下光源導軌運行。

6.根據權利要求1所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述大理石平臺固定在鈑金底座上。

7.根據權利要求1所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述大理石平臺上表面四周還設置平臺殼體。

8.根據權利要求7所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述平臺殼體的前鈑金上固定啟動按鈕與急停按鈕。

9.根據權利要求1所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述滑板通過單筒鏡頭固定件安裝單筒鏡頭。

10.根據權利要求1所述的一種白光共聚焦膜厚量測精密龍門機臺，其特征在于，所述滑板上設置傳感器抱箍，滑板通過所述傳感器抱箍安裝所述白光聚焦位移傳感器。