[實(shí)用新型]一種硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)及探針臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023007903.2
• 申請(qǐng)日: 2020-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN213752668U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林生財(cái);曾凡貴;劉振輝;王勝利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述搬運(yùn)結(jié)構(gòu)包括，

第一吸附部；

設(shè)置于第一吸附部、兩端分別連通第一伯努利吸盤和第二伯努利吸盤的第一導(dǎo)氣通道；所述第一導(dǎo)氣通道的等距中心連通于第一供氣通道。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：

第二導(dǎo)氣通道，設(shè)置于第一吸附部、連通第三伯努利吸盤且連通第一供氣通道；

第一供氣通道至第一伯努利吸盤的距離小于第一供氣通道至第三伯努利吸盤的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：

所述第一導(dǎo)氣通道包括第一導(dǎo)氣溝槽和第一密封板；

第一供氣通道包括第二導(dǎo)氣溝槽和第二密封板；

所述第一導(dǎo)氣溝槽和第二導(dǎo)氣溝槽分布于第一吸附部?jī)蓚?cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述搬運(yùn)結(jié)構(gòu)還包括，

第二吸附部，以及設(shè)置于第二吸附部上的第四伯努利吸盤和第五伯努利吸盤；

所述第一伯努利吸盤、第二伯努利吸盤、第四伯努利吸盤和第五伯努利吸盤沿圓形分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：

所述第四伯努利吸盤和第五伯努利吸盤分別位于第三導(dǎo)氣通道兩端，且第三導(dǎo)氣通道的等距中心連通于第二供氣通道。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：

所述第一吸附部和第二吸附部一體成型。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：

所述第一吸附部和第二吸附部均安裝于安裝本體。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：

所述第一伯努利吸盤、第二伯努利吸盤、第四伯努利吸盤和第五伯努利吸盤位于同側(cè)。

9.一種探針臺(tái)，其特征在于：所述探針臺(tái)包括權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針臺(tái)，其特征在于：所述探針臺(tái)包括多個(gè)硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。