[實用新型]一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置

有效

• 申請號: 202023005123.4
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN213838954U
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 張劍;柴振;蒙峻;羅成
• 申請（專利權）人: 蘭州科近泰基新技術有限責任公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00;F04B41/06
• 代理公司: 蘭州智和專利代理事務所(普通合伙) 62201
• 代理人: 張英荷

本實用新型公開了一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置，包括分子泵、角閥、三通接頭、四通接頭、微調閥和粗抽泵；所述分子泵的進氣端連接剝離膜系統，分子泵的出氣端連接三通接頭的第一接口，三通接頭的第二接口連接角閥的一個接口，角閥的另一個接口連接四通接頭的第一接口，四通接頭的第二接口連接粗抽泵；三通接頭的第三接口連接微調閥的一個接口，微調閥的另一個接口連接四通接頭的第三接口，四通接頭的第四接口上連接有截止閥。該裝置通過角閥和微調閥配合控制真空抽速，有效縮短工作時間，方便控制和調節，同時可降低對操作人員經驗的依賴，防止抽真空，及停機檢修時造成剝離膜系統損壞。

技術領域

本實用新型屬于真空技術領域，具體涉及一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置。

背景技術

HIMM是我國第一臺具有自主知識產權的碳離子治療設備，其主體部分包括一臺等時性回旋注入器，一臺加速能量可至400Mev的同步加速器，以及5個治療終端。其中，剝離膜系統是同步加速器的重要組成部分，主要用于向主加速器剝離注入C⁵⁺離子。

剝離膜選用碳膜，膜厚15μg/cm²（約0.1μm），由于其材質為脆性材料，且厚度非常薄，輕微的震動都可能造成膜的破裂。剝離膜系統需要在5×10^-7Pa的超高真空環境下工作，因此需要真空獲得設備將剝離膜系統抽成真空。在獲得真空的初始階段，氣體流動會造成剝離膜擾動，為確保剝離膜的狀態完好，要將氣體流動速度限制在一定范圍。并且在獲得真空的不同階段，剝離膜系統對抽速的需求不同。

現有真空抽速設備存在的問題：

1.對工作人員的操作要求高，容錯率低

在現有技術條件下，真空抽速的控制主要依靠操作人員對角閥的開合度大小來調節，該過程需要對真空設備操作十分熟練。操作稍有不慎，就會導致剝離膜因氣流擾動過大而損壞。

2.假如選用抽速很小的粗抽泵，將會在獲得高真空的過程中無法成為前級泵

在獲得高真空的過程中，當真空度＜1×10^-1mbar時，由仿真模擬及實驗測試可知，此時的氣體擾動對剝離膜不再產生破壞性影響。此時，當使用分子泵作為高真空獲得的主泵時，還需要配置一臺與其抽速匹配的前級泵。為解決上述矛盾，則需要兩套粗抽系統，該真空獲得系統所需設備較多，成本高，結構復雜。

3.檢修困難

在剝離膜系統的檢修過程中，如需更換損壞部分膜片或機械部件維修，需要在系統中充入高純氮氣變為常壓狀態，充入氮氣的過程中，控制充入氣體的流速也比較困難。

實用新型內容

本實用新型提供了一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置，目的在于解決現有真空抽速設備中存在的上述問題。

為此，本實用新型采用如下技術方案：

一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置，包括分子泵、角閥、三通接頭、四通接頭、微調閥和粗抽泵；

所述分子泵的進氣端連接剝離膜系統，分子泵的出氣端連接三通接頭的第一接口，三通接頭的第二接口連接角閥的一個接口，角閥的另一個接口連接四通接頭的第一接口，四通接頭的第二接口連接粗抽泵；三通接頭的第三接口連接微調閥的一個接口，微調閥的另一個接口連接四通接頭的第三接口，四通接頭的第四接口上連接有截止閥。

進一步地，所述粗抽泵與四通接頭的第二接口之間還連接有隔膜閥和電磁閥。

進一步地，所述粗抽泵選用機械泵。

進一步地，所述截止閥后方連接有供氣裝置。

進一步地，所述角閥采用全金屬角閥。

本實用新型的有益效果在于：