[實用新型]一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置有效

申請號：	202023005123.4	申請日：	2020-12-15
公開（公告）號：	CN213838954U	公開（公告）日：	2021-07-30
發明（設計）人：	張劍;柴振;蒙峻;羅成	申請（專利權）人：	蘭州科近泰基新技術有限責任公司
主分類號：	F04D19/04	分類號：	F04D19/04;F04D27/00;F04B41/06
代理公司：	蘭州智和專利代理事務所(普通合伙) 62201	代理人：	張英荷
地址：	730000 甘***	國省代碼：	甘肅;62
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于剝離系統真空裝置
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【權利要求書】：

1.一種用于剝離膜系統的真空抽速裝置，其特征在于，包括分子泵（3）、角閥（5）、三通接頭（4）、四通接頭（6）、微調閥（7）和粗抽泵；

所述分子泵（3）的進氣端連接剝離膜系統（1），分子泵（3）的出氣端連接三通接頭（4）的第一接口，三通接頭（4）的第二接口連接角閥（5）的一個接口，角閥（5）的另一個接口連接四通接頭（6）的第一接口，四通接頭（6）的第二接口連接粗抽泵；三通接頭（4）的第三接口連接微調閥（7）的一個接口，微調閥（7）的另一個接口連接四通接頭（6）的第三接口，四通接頭（6）的第四接口上連接有截止閥（8）。

2.根據權利要求1所述的用于剝離膜系統的真空抽速裝置，其特征在于，所述粗抽泵與四通接頭（6）的第二接口之間還連接有隔膜閥（9）和電磁閥（10）。

3.根據權利要求2所述的用于剝離膜系統的真空抽速裝置，其特征在于，所述粗抽泵選用機械泵（11）。

4.根據權利要求1所述的用于剝離膜系統的真空抽速裝置，其特征在于，所述截止閥（8）后方連接有供氣裝置。

5.根據權利要求1所述的用于剝離膜系統的真空抽速裝置，其特征在于，所述角閥（5）采用全金屬角閥。

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