[實用新型]一種空間利用率高的晶圓升降裝置

有效

• 申請號: 202023001938.5
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN214043622U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 鐘興進
• 申請（專利權）人: 廣州市鴻浩光電半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 邱冬新

1.一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：包括機體(1)，所述機體(1)頂端設置有底板(2)，底板(2)底部兩側設置有滾輪(3)，所述機體(1)內部底端設置有安裝座(4)，安裝座(4)上設置有減震板(6)，所述減震板(6)頂端設置有電機(5)，電機(5)一側設置有第一齒輪(7)，所述第一齒輪(7)一側設置有第二齒輪(10)，所述第二齒輪(10)頂端設置有螺紋管(9)，螺紋管(9)上設置有旋管(8)，所述旋管(8)一端穿過機體(1)頂端，旋管(8)一端設置有支撐板(11)，所述支撐板(11)頂端兩側設置有氣缸(12)，氣缸(12)上部設置有載具(13)，所述機體(1)外部設置有箱門(16)，所述箱門(16)上設置有控制器(17)。

2.根據權利要求1所述的一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：所述載具(13)兩側設置有通孔(18)，通孔(18)內設置有調節螺栓(15)，所述調節螺栓(15)一端設置有卡件(19)，卡件(19)上設置有防護墊(20)。

3.根據權利要求2所述的一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：所述防護墊(20)為彈性硅膠材質。

4.根據權利要求1所述的一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：所述載具(13)內部底端設置有吸盤(14)，所述吸盤(14)為不銹鋼材質。

5.根據權利要求1所述的一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：所述減震板(6)內設置有數個彈簧，并等間距均勻的設置在減震板(6)內。

6.根據權利要求1所述的一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：所述控制器(17)與電機(5)和氣缸(12)均為電連接。

7.根據權利要求1所述的一種空間利用率高的晶圓升降裝置，其特征在于：所述第一齒輪(7)與第二齒輪(10)相適配，第二齒輪(10)豎向設置在第一齒輪(7)右側上。