[實用新型]一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺

有效

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• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN213878016U
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設計）人: 梁娟;王磊;白國人;陳帥;陳景春;曲迪
• 申請（專利權）人: 天津華慧芯科技集團有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 蒙建軍

本實用新型公開了一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺，屬于掃描電鏡技術領域，其特征在于，自下而上依次包括：樣品臺底座、金屬葉片和活動柱狀圓環(huán)，樣品臺底座包括圓柱形的底座本體，在底座本體的上表面中心位置開設有圓形槽，在底座本體的上表面開設有均勻分布的2N個直盲孔；在底座本體的下表面中心位置開設有連接緊固螺釘B用的螺紋孔；金屬葉片為2N個，每個金屬葉片的下表面固定有與直盲孔配合用的固定銷釘每個金屬葉片的上表面固定有活動銷釘；所述活動柱狀圓環(huán)上表面內(nèi)側(cè)開設有與活動銷釘配合的滑行軌道，所述活動柱狀圓環(huán)的外側(cè)壁開設有水平螺紋孔，在水平螺紋孔內(nèi)安裝有緊固螺釘A，所述活動柱狀圓環(huán)的內(nèi)徑大于樣品臺底座的外徑。

技術領域

本實用新型屬于掃描電鏡技術領域，具體涉及一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺。

背景技術

在科技高速發(fā)展的當下，掃描電鏡因其簡單、高效、高分辨率等特性，在各個領域都得到了廣泛的應用。掃描電鏡是最廣泛使用的材料表征設備之一。它具備較大的景深、較寬的放大范圍和納米級甚至亞納米級高分辨率的成像能力，可以對復雜的、粗糙的表面形貌進行成像和尺寸測量，配合背散射電子探頭可以分析一些材料的成分分布。

樣品做掃描電鏡時，需要將樣品固定在樣品臺上然后放入樣品倉進行觀測。但現(xiàn)有的樣品上下端面往往不平整，且樣品的端面相對樣品的長度而言，端面比較小，在進行固定時不方便，固定不牢固，影響對樣品的觀測。

實用新型內(nèi)容

本實用新型為解決公知技術中存在的技術問題，提供一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺。

本實用新型的目的是提供一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺，自下而上依次包括：

樣品臺底座(3)，所述樣品臺底座(3)包括圓柱形的底座本體，在底座本體的上表面中心位置開設有圓形槽，在底座本體的上表面開設有均勻分布的2N個直盲孔(3-2)，N為自然數(shù)；在底座本體的下表面中心位置開設有連接緊固螺釘B(3-1)用的螺紋孔；

金屬葉片(2)，所述金屬葉片(2)為2N個，每個金屬葉片(2)的下表面固定有與直盲孔(3-2)配合用的固定銷釘(2-1)，每個金屬葉片(2)的上表面固定有活動銷釘(2-2)；

活動柱狀圓環(huán)(1)，所述活動柱狀圓環(huán)(1)上表面內(nèi)側(cè)開設有與所述活動銷釘(2-2) 配合的滑行軌道(1-2)，所述活動柱狀圓環(huán)(1)的外側(cè)壁開設有水平螺紋孔，在水平螺紋孔內(nèi)安裝有緊固螺釘A(1-1)，所述活動柱狀圓環(huán)(1)的內(nèi)徑大于樣品臺底座(3)的外徑。

優(yōu)選地，所述滑行軌道(1-2)為弧形軌道。

本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是：

本實用新型通過采用由上述技術方案構成的樣品臺，在使用時只需通過轉(zhuǎn)動蓋體，對組合金屬葉片形成的孔徑進行調(diào)節(jié)，旋轉(zhuǎn)至組合金屬葉片能夠夾緊樣品的位置，再擰緊蓋體側(cè)壁的緊固螺栓一將蓋體固定即可，可固定不同直徑尺寸的柱狀樣品，適應范圍廣；底座底部的緊固螺栓二，可根據(jù)需要支撐的柱狀樣品的高度配備不同長度的緊固螺栓二；本實用新型結(jié)構構思巧妙，使用方便，便于操作，可適應不同直徑尺寸的柱狀樣品的固定，大大提高了工作效率，適合推廣應用。

附圖說明

圖1是本實用新型優(yōu)選實例的爆炸圖；

圖2是本實用新型優(yōu)選實例的俯視圖；

其中：1、活動柱狀圓環(huán)；1-1、緊固螺釘A；1-2、滑行軌道；2、金屬葉片；2-1、固定銷釘；2-2、活動銷釘；3、樣品臺底座；3-1、緊固螺釘B；3-2、直盲孔。

具體實施方式

為能進一步了解本實用新型的發(fā)明內(nèi)容、特點及功效，茲例舉以下實施例，并配合附圖詳細說明如下：