[實用新型]一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺

有效

• 申請號: 202022988280.5
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN213878016U
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 梁娟;王磊;白國人;陳帥;陳景春;曲迪
• 申請（專利權）人: 天津華慧芯科技集團有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 蒙建軍

1.一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺；其特征在于，自下而上依次包括：

樣品臺底座(3)，所述樣品臺底座(3)包括圓柱形的底座本體，在底座本體的上表面中心位置開設有圓形槽，在底座本體的上表面開設有均勻分布的2N個直盲孔(3-2)，N為自然數；在底座本體的下表面中心位置開設有連接緊固螺釘B(3-1)用的螺紋孔；

金屬葉片(2)，所述金屬葉片(2)為2N個，每個金屬葉片(2)的下表面固定有與直盲孔(3-2)配合用的固定銷釘(2-1)，每個金屬葉片(2)的上表面固定有活動銷釘(2-2)；

活動柱狀圓環(1)，所述活動柱狀圓環(1)上表面內側開設有與所述活動銷釘(2-2)配合的滑行軌道(1-2)，所述活動柱狀圓環(1)的外側壁開設有水平螺紋孔，在水平螺紋孔內安裝有緊固螺釘A(1-1)，所述活動柱狀圓環(1)的內徑大于樣品臺底座(3)的外徑。

2.根據權利要求1所述的變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺，其特征在于，所述滑行軌道(1-2)為弧形軌道。