[實用新型]一種石英舟

有效

• 申請號: 202022986743.4
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN213816097U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 金寧城;陳雅君
• 申請（專利權）人: 福建兆元光電有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 董晗

本實用新型涉及晶圓制造技術領域，具體涉及一種石英舟，包括固定桿和支撐桿；所述固定桿有兩個，所述固定桿上開設有多個上固定槽，兩個所述固定桿上相互遠離的一側均設有凸沿，其中一個所述固定桿的凸沿上開設有定位孔，另一個所述固定桿的凸沿上設有定位柱；所述支撐桿有兩個，所述支撐桿位于固定桿下方并與支撐桿相互平行。本實用新型的有益效果在于：成批的晶圓能夠直接在晶圓傳遞盒和石英舟之間轉移，無需人工使用吸筆對晶圓單片逐個進行轉移，不僅提高了晶圓的轉移效率，節約了人工成本，同時還能夠避免人工轉移過程中對晶圓造成損害，進而提高晶圓的良品率。

技術領域

本實用新型涉及晶圓制造技術領域，具體涉及一種石英舟。

背景技術

晶圓是指半導體集成電路制作所用的晶片，其形狀為圓形，在晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的產品。

晶圓在生產過程中需要輪流用到多種裝載夾具(如晶圓傳遞盒和石英舟等)。其中在高溫合金爐生產時需要使用專用的石英舟，其與產線產品所使用的晶圓傳遞盒在結構和尺寸存在較大差異，因此，晶圓單片在晶圓傳遞盒和石英舟之間轉移時需要人工使用吸筆夾取和轉移，這樣既造成了人工成本浪費，又容易因工作人員操作不當而導致晶圓被劃傷或損壞，進而影響產品質量。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種提高晶圓轉移效率，避免晶圓在轉移過程中發生損壞的石英舟。

為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為：一種石英舟，包括固定桿和支撐桿；

所述固定桿有兩個，所述固定桿上開設有多個上固定槽，兩個所述固定桿上相互遠離的一側均設有凸沿，其中一個所述固定桿的凸沿上開設有定位孔，另一個所述固定桿的凸沿上設有定位柱；

所述支撐桿有兩個，所述支撐桿位于固定桿下方并與支撐桿相互平行，相鄰的所述支撐桿之間的間距小于相鄰的固定桿之間的間距，所述支撐桿上開設有多個與上固定槽一一對應的下固定槽。

具體的，還包括連接桿和支腳；

所述連接桿垂直于支撐桿和固定桿并位于支撐桿和固定桿之間，所述支撐桿的端部通過連接桿與固定桿的端部固定連接；

兩個所述支撐桿的底部分別固定連接有支腳，位于兩個所述支撐桿底部的支腳呈八字形。

具體的，位于兩個所述支撐桿底部的支腳之間的夾角為40°。

具體的，相鄰的所述固定桿的間距為104.2±0.5mm，相鄰的所述支撐桿的間距為55±0.5mm，所述固定桿和支撐桿之間的縱向間距為24.5±0.5mm。

本實用新型的有益效果在于：成批的晶圓能夠直接在晶圓傳遞盒和石英舟之間轉移，無需人工使用吸筆對晶圓單片逐個進行轉移，不僅提高了晶圓的轉移效率，節約了人工成本，同時還能夠避免人工轉移過程中對晶圓造成損害，進而提高晶圓的良品率。

附圖說明

圖1為本實用新型具體實施方式石英舟的正視圖；

圖2為本實用新型具體實施方式石英舟的側視圖；

圖3為本實用新型具體實施方式石英舟的俯視圖；

圖4為本實用新型具體實施方式固定桿或支撐桿的結構示意圖；

圖5為本實用新型具體實施方式晶圓傳遞盒的結構示意圖；

標號說明：

1、固定桿；11、凸沿；12、定位孔；13、定位柱；2、支撐桿；3、連接桿；4、支腳；5、晶圓。

具體實施方式

為詳細說明本實用新型的技術內容、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖予以說明。