[實(shí)用新型]一種石英舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022986743.4 | 申請日： | 2020-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN213816097U | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金寧城;陳雅君 | 申請（專利權(quán)）人： | 福建兆元光電有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 福州市博深專利事務(wù)所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 董晗 |
| 地址： | 350109 福建省福州*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石英 | ||
1.一種石英舟，其特征在于，包括固定桿和支撐桿；
所述固定桿有兩個，所述固定桿上開設(shè)有多個上固定槽，兩個所述固定桿上相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均設(shè)有凸沿，其中一個所述固定桿的凸沿上開設(shè)有定位孔，另一個所述固定桿的凸沿上設(shè)有定位柱；
所述支撐桿有兩個，所述支撐桿位于固定桿下方并與支撐桿相互平行，相鄰的所述支撐桿之間的間距小于相鄰的固定桿之間的間距，所述支撐桿上開設(shè)有多個與上固定槽一一對應(yīng)的下固定槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述石英舟，其特征在于，還包括連接桿和支腳；
所述連接桿垂直于支撐桿和固定桿并位于支撐桿和固定桿之間，所述支撐桿的端部通過連接桿與固定桿的端部固定連接；
兩個所述支撐桿的底部分別固定連接有支腳，位于兩個所述支撐桿底部的支腳呈八字形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述石英舟，其特征在于，位于兩個所述支撐桿底部的支腳之間的夾角為40°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述石英舟，其特征在于，相鄰的所述固定桿的間距為104.2±0.5mm，相鄰的所述支撐桿的間距為55±0.5mm，所述固定桿和支撐桿之間的縱向間距為24.5±0.5mm。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
