[實(shí)用新型]一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022979904.7
• 申請(qǐng)日: 2020-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN213988833U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曲紹芬;陳正偉;辛巖;付秀華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)恒進(jìn)真空科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11577
• 代理人: 康震

1.一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置，其特征在于，包括真空抽取裝置(3)、真空室(1)、控制柜(6)、升降裝置、封接裝置(2)和發(fā)熱平臺(tái)(13)，所述封接裝置(2)包括封接裝置上部和封接裝置下部，所述封接裝置(2)安裝在所述真空室(1)內(nèi)，所述真空室(1)與所述真空抽取裝置(3)連接，所述升降裝置安裝在所述真空室(1)上，所述發(fā)熱平臺(tái)(13)安裝在所述封接裝置下部上，所述封接裝置上部通過所述升降裝置與所述封接裝置下部連接，所述封接裝置(2)、所述真空抽取裝置(3)和所述升降裝置均與所述控制柜(6)內(nèi)的控制器電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置，其特征在于，還包括熱管(30)和測(cè)溫?zé)犭娕?31)，多路所述熱管(30)穿設(shè)于所述發(fā)熱平臺(tái)(13)內(nèi)部，所述測(cè)溫?zé)犭娕?31)安裝在所述發(fā)熱平臺(tái)(13)內(nèi)部，所述測(cè)溫?zé)犭娕?31)和所述熱管(30)電連接，所述測(cè)溫?zé)犭娕?31)和所述熱管(30)均與所述控制柜(6)內(nèi)的控制器電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置，其特征在于，還包括多芯電極(7)，所述多芯電極(7)固定在所述真空室(1)的底板上，多路所述熱管(30)通過所述多芯電極(7)與所述控制柜(6)內(nèi)的控制器電連接，所述測(cè)溫?zé)犭娕?31)通過所述多芯電極(7)與所述控制柜(6)內(nèi)的控制器電連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置，其特征在于，所述升降裝置包括電機(jī)(26)、第一皮帶輪(23)、第二皮帶輪(25)、皮帶(24)、大齒輪(9)、小齒輪(16)、傳動(dòng)桿(17)、絲杠(28)、絲杠螺母(27)、鎖緊螺母、直線導(dǎo)軌(20)、直線滑塊(15)和支筒(19)組成，所述電機(jī)(26)、所述第一皮帶輪(23)、所述第二皮帶輪(25)和所述皮帶(24)均設(shè)置于所述真空室(1)下方，所述大齒輪(9)、所述小齒輪(16)、所述傳動(dòng)桿(17)、所述絲杠(28)、所述絲杠螺母(27)、所述直線導(dǎo)軌(20)、所述直線滑塊(15)和所述支筒(19)均設(shè)置于所述真空室(1)內(nèi)部，所述傳動(dòng)桿(17)通過聯(lián)軸器與所述第二皮帶輪(25)連接，所述第二皮帶輪(25)通過所述皮帶(24)與所述第一皮帶輪(23)連接，所述電機(jī)(26)與所述第一皮帶輪(23)通過聯(lián)軸器連接，所述傳動(dòng)桿(17)下端部與所述封接裝置下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)桿(17)上端部與所述封接裝置(2)上端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)桿(17)上套設(shè)有所述大齒輪(9)，所述支筒(19)通過螺栓與所述封接裝置下部連接，所述絲杠(28)下端部通過所述絲杠螺母(27)與所述支筒(19)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述絲杠螺母(27)與所述支筒(19)通過螺栓連接，所述絲杠(28)下端部通過所述絲杠螺母(27)與所述支筒(19)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述絲杠(28)上端部與所述封接裝置上部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述絲杠(28)上固定有所述小齒輪(16)，所述大齒輪(9)與所述小齒輪(16)嚙合，所述直線滑塊(15)與所述直線導(dǎo)軌(20)滑動(dòng)連接，所述直線滑塊(15)通過螺栓與所述封接裝置上部連接，所述直線導(dǎo)軌(20)通過螺栓與所述封接裝置下部連接，所述電機(jī)(26)與所述控制柜(6)內(nèi)的控制器電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置，其特征在于，所述封接裝置上部包括上壓板(10)、上反射屏(14)、連接板(22)、套筒(29)和頂針(11)，所述套筒(29)與所述傳動(dòng)桿(17)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連接板(22)一端與所述套筒(29)連接，所述連接板(22)的另一端使用螺栓連接固定在所述上壓板(10)上方，所述上壓板(10)下方安裝有所述上反射屏(14)，所述上反設(shè)屏下方安裝有所述頂針(11)，所述直線滑塊(15)與所述上壓板(10)通過螺栓連接，所述絲杠(28)上端部與所述上壓板(10)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)桿(17)下端部與所述封接裝置下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓級(jí)真空鍵合裝置，其特征在于，所述封接裝置下部包括下反射屏(12)和臺(tái)板(21)，所述下反射屏(12)安裝在所述臺(tái)板(21)的上端面上，所述發(fā)熱平臺(tái)(13)安裝在所述下反射屏(12)上，所述直線導(dǎo)軌(20)與所述臺(tái)板(21)通過螺栓連接，所述傳動(dòng)桿(17)下端部與所述臺(tái)板(21)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。