[實用新型]一種可翻轉擴膜機

有效

• 申請號: 202022976680.4
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN213958917U
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發明（設計）人: 秦可勇;何彬
• 申請（專利權）人: 江蘇眾晶半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/00
• 代理公司: 上海塔科專利代理事務所(普通合伙) 31380
• 代理人: 耿恩華

本實用新型涉及擴膜機技術領域，尤其涉及一種可翻轉擴膜機，包括機座、支撐架和擴膜平臺；機座的中部中空形成擴膜腔；機座上設置有收集盒，收集盒位于擴膜腔的底部；機座的一側設置有控制面板；機座的內部設置有伸縮臂；伸縮臂上設置有連接件；擴膜平臺位于擴膜腔內；擴膜平臺的兩側均設置有滑槽；滑槽上滑動設置有連接軸；連接軸為圓弧形；連接件與連接軸配合安裝；連接軸上設置有吸附塊；擴膜平臺的頂部設置有支撐板，支撐板上設置有安裝臺；安裝臺上配套設置有繃緊內環和繃緊外環；支撐架安裝在機座上；支撐架上設置有液壓缸；支撐架的底部設置有壓緊蓋板；本實用新型擴膜平臺能夠翻轉，有利于取出擴膜時產生的碎削，提高擴膜的效果。

技術領域

本實用新型涉及擴膜機技術領域，尤其涉及一種可翻轉擴膜機。

背景技術

擴膜機是專門用于晶圓、LED等切割后的擴膜工序；可均勻的擴張晶粒之間的間距；現有技術中的擴膜機擴膜時晶圓正面向上，沒有辦法正面向下進行擴膜；擴膜過程中會產生碎削留在晶圓表面，需要使用額外的清理設備進行清理；清理過程中容易污損晶圓，影響擴膜質量。

為解決上述問題，本申請中提出一種可翻轉擴膜機。

實用新型內容

(一)實用新型目的

為解決背景技術中存在的現有技術中的擴膜機擴膜時晶圓正面向上，沒有辦法正面向下進行擴膜；擴膜過程中會產生碎削留在晶圓表面，需要使用額外的清理設備進行清理；清理過程中容易污損晶圓，影響擴膜質量的技術問題，本實用新型提出一種可翻轉擴膜機，具有擴膜平臺能夠翻轉，有利于取出擴膜時產生的碎削，提高擴膜的效果的特點。

(二)技術方案

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種可翻轉擴膜機，包括機座、支撐架和擴膜平臺；

機座的中部中空形成擴膜腔；機座上設置有收集盒，收集盒位于擴膜腔的底部；機座的一側設置有控制面板；機座的內部設置有伸縮臂，伸縮臂沿著豎直方向上下伸縮；伸縮臂上設置有連接件；

擴膜平臺位于擴膜腔內；擴膜平臺的兩側均設置有滑槽；滑槽的上半部為弧形，下半部為矩形；滑槽的內壁上設置有電磁鐵；滑槽上滑動設置有連接軸；連接軸為圓弧形；連接件與連接軸配合安裝；連接件上設置有驅動連接軸轉動的驅動電機；連接軸上設置有吸附塊，吸附塊與電磁鐵配合卡接，且吸附塊與電磁鐵磁性相吸；擴膜平臺的頂部設置有支撐板，支撐板上設置有安裝臺；安裝臺上配套設置有繃緊內環和繃緊外環；支撐板上轉動設置有片環；片環扣在安裝臺上；

支撐架安裝在機座上；支撐架上設置有液壓缸；支撐架的底部設置有壓緊蓋板；液壓缸驅動壓緊蓋板沿著豎直方向上下運動；支撐架上設置有多個導向桿；導向桿從壓緊蓋板中穿過；壓緊蓋板位于安裝臺的正上方。

優選的，機座朝向擴膜腔的一側設置有觀察窗。

優選的，擴膜腔的內部設置有去離子裝置。

優選的，擴膜腔的內部設置有排風裝置。

優選的，擴膜平臺的安裝臺上集成有加熱溫控系統。

優選的，擴膜平臺上設置有限位板；機座的擴膜腔中設置有安裝槽；擴膜平臺的底部卡入安裝槽中。

本實用新型的上述技術方案具有如下有益的技術效果：

1、機座朝向擴膜腔的一側設置有觀察窗。觀察窗便于觀察擴膜時的工作狀態。

2、擴膜平臺上設置有限位板；機座的擴膜腔中設置有安裝槽；擴膜平臺的底部卡入安裝槽中。擴膜平臺的底部卡入安裝槽中，保證擴膜平臺位置固定，便于放置晶圓。

3、擴膜時產生的碎削在重力的作用下落入收集盒中，定時對收集盒進行清理即可。擴膜平臺能夠翻轉，有利于取出擴膜時產生的碎削，提高擴膜的效果。

附圖說明