[實用新型]一種可翻轉擴膜機

有效

• 申請號: 202022976680.4
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN213958917U
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發明（設計）人: 秦可勇;何彬
• 申請（專利權）人: 江蘇眾晶半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/00
• 代理公司: 上海塔科專利代理事務所(普通合伙) 31380
• 代理人: 耿恩華

1.一種可翻轉擴膜機，其特征在于，包括機座(1)、支撐架(12)和擴膜平臺(5)；

機座(1)的中部中空形成擴膜腔(13)；機座(1)上設置有收集盒(2)，收集盒(2)位于擴膜腔(13)的底部；機座(1)的一側設置有控制面板(4)；機座(1)的內部設置有伸縮臂(15)，伸縮臂(15)沿著豎直方向上下伸縮；伸縮臂(15)上設置有連接件(17)；

擴膜平臺(5)位于擴膜腔(13)內；擴膜平臺(5)的兩側均設置有滑槽(19)；滑槽(19)的上半部為弧形，下半部為矩形；滑槽(19)的內壁上設置有電磁鐵(191)；滑槽(19)上滑動設置有連接軸(20)；連接軸(20)為圓弧形；連接件(17)與連接軸(20)配合安裝；連接件(17)上設置有驅動連接軸(20)轉動的驅動電機(18)；連接軸(20)上設置有吸附塊(201)，吸附塊(201)與電磁鐵(191)配合卡接，且吸附塊(201)與電磁鐵(191)磁性相吸；擴膜平臺(5)的頂部設置有支撐板(6)，支撐板(6)上設置有安裝臺(7)；安裝臺(7)上配套設置有繃緊內環和繃緊外環；支撐板(6)上轉動設置有片環(8)；片環(8)扣在安裝臺(7)上；

支撐架(12)安裝在機座(1)上；支撐架(12)上設置有液壓缸(10)；支撐架(12)的底部設置有壓緊蓋板(9)；液壓缸(10)驅動壓緊蓋板(9)沿著豎直方向上下運動；支撐架(12)上設置有多個導向桿(11)；導向桿(11)從壓緊蓋板(9)中穿過；壓緊蓋板(9)位于安裝臺(7)的正上方。

2.根據權利要求1所述的一種可翻轉擴膜機，其特征在于，機座(1)朝向擴膜腔(13)的一側設置有觀察窗(3)。

3.根據權利要求1所述的一種可翻轉擴膜機，其特征在于，擴膜腔(13)的內部設置有去離子裝置。

4.根據權利要求1所述的一種可翻轉擴膜機，其特征在于，擴膜腔(13)的內部設置有排風裝置。

5.根據權利要求1所述的一種可翻轉擴膜機，其特征在于，擴膜平臺(5)的安裝臺(7)上集成有加熱溫控系統。

6.根據權利要求1所述的一種可翻轉擴膜機，其特征在于，擴膜平臺(5)上設置有限位板(14)；機座(1)的擴膜腔(13)中設置有安裝槽(16)；擴膜平臺(5)的底部卡入安裝槽(16)中。