[實(shí)用新型]噴嘴裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022933498.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214917156U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古伊鈞;黃敬為;梁哲維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號(hào): B05B1/00
• 分類號(hào): B05B1/00
• 代理公司: 北京律和信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11446
• 代理人: 張莎莎;王月春

本申請(qǐng)公開(kāi)一種噴嘴裝置，包括一基座、可活動(dòng)地安裝于所述基座的一承接件、可拆卸地安裝于所述承接件的一噴嘴頭、設(shè)置于所述基座內(nèi)部的一通道式彈性件。所述基座形成有連通其內(nèi)部的一內(nèi)接通道，所述承接件形成有貫穿狀的一外接通道，所述噴嘴頭位于所述基座之外并具有連通于所述外接通道的一氣流口。所述通道式彈性件的兩端分別連接于所述承接件與所述基座，所述通道式彈性件包圍形成能連通所述外接通道與所述內(nèi)接通道的一彈性通道。所述噴嘴頭與所述承接件能通過(guò)所述通道式彈性件，而沿預(yù)定方向于一初始位置與一承載位置之間往復(fù)地移動(dòng)。據(jù)此，所述噴嘴裝置相較于現(xiàn)有噴嘴裝置更為簡(jiǎn)化，進(jìn)而利于縮小體積。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及一種噴嘴裝置，尤其涉及具有通道式彈性件的一種噴嘴裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有噴嘴裝置是以一金屬?gòu)椈纱钆湟幌尬唤M件，來(lái)使一噴嘴頭能夠往復(fù)地移動(dòng)。然而，現(xiàn)有噴嘴裝置因采用上述金屬?gòu)椈膳c限位組件，因而使得現(xiàn)有噴嘴裝置的體積難以被進(jìn)一步地縮小。

于是，本申請(qǐng)人認(rèn)為上述缺陷可改善，乃特潛心研究并配合科學(xué)原理的運(yùn)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺陷的本申請(qǐng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)實(shí)施例在于提供一種噴嘴裝置，其能有效地改善現(xiàn)有噴嘴裝置所可能產(chǎn)生的缺陷。

本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)一種噴嘴裝置，其包括：一基座，其內(nèi)部形成有一容置腔體，并且基座形成有連通容置腔體的一內(nèi)接通道；一承接件，其可活動(dòng)地安裝于基座，并且承接件形成有貫穿狀的一外接通道；一噴嘴頭，其可拆卸地安裝于承接件并位于容置腔體之外，用以抵接于一晶圓盒；其中，噴嘴頭具有連通于外接通道的一氣流口；以及一通道式彈性件，設(shè)置于容置腔體內(nèi)，通道式彈性件的兩個(gè)末端部分別連接于承接件與基座；其中，通道式彈性件包圍形成一彈性通道，以使外接通道能通過(guò)彈性通道而連通于內(nèi)接通道；其中，噴嘴頭與承接件能通過(guò)通道式彈性件，而沿一預(yù)定方向于一初始位置與一承載位置之間往復(fù)地移動(dòng)；當(dāng)噴嘴頭與承接件自初始位置朝向承載位置移動(dòng)時(shí)，通道式彈性件被壓縮而蓄有傾向回復(fù)至初始位置的一回彈力。

優(yōu)選地，基座包含有彼此組接且共同定義出容置腔體的一上殼體與一下殼體，并且承接件安裝于基座的上殼體，通道式彈性件的兩個(gè)末端部分別連接于承接件與下殼體，而內(nèi)接通道形成于下殼體。

優(yōu)選地，承接件包含有位于通道式彈性件內(nèi)側(cè)的一內(nèi)管體，并且內(nèi)管體沿預(yù)定方向面向下殼體的內(nèi)接通道。

優(yōu)選地，并且承接件包含有圍繞于內(nèi)管體外側(cè)的一導(dǎo)引環(huán)，通道式彈性件的其中一個(gè)末端部扣接于內(nèi)管體并位于導(dǎo)引環(huán)所圍繞的空間之內(nèi)。

優(yōu)選地，承接件形成有一環(huán)狀階梯面，并且當(dāng)噴嘴頭與承接件位于初始位置時(shí)，承接件的環(huán)狀階梯面頂?shù)钟谏蠚んw的內(nèi)表面；其中，導(dǎo)引環(huán)位于環(huán)狀階梯面沿預(yù)定方向朝向下殼體正投影所形成的一投影空間之內(nèi)。

優(yōu)選地，通道式彈性件包含有沿預(yù)定方向依序相連的多個(gè)彈性段，并且每個(gè)彈性段呈環(huán)狀；當(dāng)噴嘴頭與承接件位于初始位置時(shí)，至少一個(gè)彈性段位于導(dǎo)引環(huán)所圍繞的空間之內(nèi)。

優(yōu)選地，當(dāng)噴嘴頭與承接件位于承載位置時(shí)，內(nèi)管體頂?shù)钟谙職んw，以使承接件的外接通道直接連通于下殼體的內(nèi)接通道。

優(yōu)選地，通道式彈性件呈對(duì)稱狀結(jié)構(gòu)，通道式彈性件包含有沿預(yù)定方向依序相連的多個(gè)彈性段，并且每個(gè)彈性段呈環(huán)狀。

優(yōu)選地，噴嘴頭的內(nèi)緣凹設(shè)形成有鄰近氣流口的一環(huán)形嵌合槽，承接件形成有位于容置腔體外的一外管體，并且承接件嵌合于環(huán)形嵌合槽，以使噴嘴頭可拆卸地安裝于外管體。

優(yōu)選地，當(dāng)噴嘴頭與承接件位于初始位置時(shí)，通道式彈性件受到承接件與基座的壓迫而蓄有小于回彈力的一預(yù)壓力。