[實用新型]噴嘴裝置

有效

• 申請號: 202022933498.0
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN214917156U
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 古伊鈞;黃敬為;梁哲維
• 申請（專利權）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號: B05B1/00
• 分類號: B05B1/00
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙) 11446
• 代理人: 張莎莎;王月春

1.一種噴嘴裝置，其特征在于，所述噴嘴裝置包括：

一基座，其內部形成有一容置腔體，并且所述基座形成有連通所述容置腔體的一內接通道；

一承接件，其可活動地安裝于所述基座，并且所述承接件形成有貫穿狀的一外接通道；

一噴嘴頭，其可拆卸地安裝于所述承接件并位于所述容置腔體之外，用以抵接于一晶圓盒；其中，所述噴嘴頭具有連通于所述外接通道的一氣流口；以及

一通道式彈性件，設置于所述容置腔體內，所述通道式彈性件的兩個末端部分別連接于所述承接件與所述基座；其中，所述通道式彈性件包圍形成一彈性通道，以使所述外接通道能通過所述彈性通道而連通于所述內接通道；

其中，所述噴嘴頭與所述承接件能通過所述通道式彈性件，而沿一預定方向于一初始位置與一承載位置之間往復地移動；當所述噴嘴頭與所述承接件自所述初始位置朝向所述承載位置移動時，所述通道式彈性件被壓縮而蓄有傾向回復至所述初始位置的一回彈力。

2.依據權利要求1所述的噴嘴裝置，其特征在于，所述基座包含有彼此組接且共同定義出所述容置腔體的一上殼體與一下殼體，并且所述承接件安裝于所述基座的所述上殼體，所述通道式彈性件的兩個所述末端部分別連接于所述承接件與所述下殼體，而所述內接通道形成于所述下殼體。

3.依據權利要求2所述的噴嘴裝置，其特征在于，所述承接件包含有位于所述通道式彈性件內側的一內管體，并且所述內管體沿所述預定方向面向所述下殼體的所述內接通道。

4.依據權利要求3所述的噴嘴裝置，其特征在于，并且所述承接件包含有圍繞于所述內管體外側的一導引環，所述通道式彈性件的其中一個所述末端部扣接于所述內管體并位于所述導引環所圍繞的空間之內。

5.依據權利要求4所述的噴嘴裝置，其特征在于，所述承接件形成有一環狀階梯面，并且當所述噴嘴頭與所述承接件位于所述初始位置時，所述承接件的所述環狀階梯面頂抵于所述上殼體的內表面；其中，所述導引環位于所述環狀階梯面沿所述預定方向朝向所述下殼體正投影所形成的一投影空間之內。

6.依據權利要求4所述的噴嘴裝置，其特征在于，所述通道式彈性件包含有沿所述預定方向依序相連的多個彈性段，并且每個所述彈性段呈環狀；當所述噴嘴頭與所述承接件位于所述初始位置時，至少一個所述彈性段位于所述導引環所圍繞的所述空間之內。

7.依據權利要求3所述的噴嘴裝置，其特征在于，當所述噴嘴頭與所述承接件位于所述承載位置時，所述內管體頂抵于所述下殼體，以使所述承接件的所述外接通道直接連通于所述下殼體的所述內接通道。

8.依據權利要求1所述的噴嘴裝置，其特征在于，所述通道式彈性件呈對稱狀結構，所述通道式彈性件包含有沿所述預定方向依序相連的多個彈性段，并且每個所述彈性段呈環狀。

9.依據權利要求1所述的噴嘴裝置，其特征在于，所述噴嘴頭的內緣凹設形成有鄰近所述氣流口的一環形嵌合槽，所述承接件形成有位于所述容置腔體外的一外管體，并且所述承接件嵌合于所述環形嵌合槽，以使所述噴嘴頭可拆卸地安裝于所述外管體。

10.依據權利要求1所述的噴嘴裝置，其特征在于，當所述噴嘴頭與所述承接件位于所述初始位置時，所述通道式彈性件受到所述承接件與所述基座的壓迫而蓄有小于所述回彈力的一預壓力。