[實用新型]一種用于化學氣相沉積法玻璃車床料柜

有效

• 申請號: 202022923228.1
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN214327558U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 馮碩春;劉慶;雷朝;郭建同;李亞帥;袁強
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十六研究所
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 李美英

本實用新型一種用于化學氣相沉積法玻璃車床的料柜，包括料柜框以及設置在料柜框內的四氯化硅料瓶系統和各種氣體管道系統，還包括快速排氣閥、加熱盤、風扇、固定架、柜溫熱電偶、管溫熱電偶、環狀加熱帶、溫控表、氣體探測器。采用夾層填充保溫棉結構，具有優良的保溫隔熱效果，柜內設有恒溫溫控裝置，可使柜內空氣、各進料管路溫度和料瓶溫度保持恒定。內柜體還設有危險氣體報警系統，增加了內柜體安全性。

技術領域

本實用新型屬于光纖預制棒生產技術領域，尤其涉及一種用于化學氣相沉積法玻璃車床料柜。

背景技術

目前，我國光纖光纜事業產業呈現發展不平衡的狀態，光纖預制棒嚴重依賴進口。為了打破這一局面，實現光纖預制棒的國產化，近年來國內各大光纖生產商做出了很多探索。

化學氣相沉積法（以下簡稱MCVD）玻璃車床是一種用來生產光纖預制棒的車床，利用MCVD法制造光纖預制棒的原理是以石英玻璃管作為基管，通過把首管和尾管分別與沉積管兩端熔接，將它們固定在MCVD車床的兩端，一端與原料進氣口相通，一端通過較大外徑的排廢管與廢處理系統相連。反應原料包含有多種氯化物，如SiCl4、GeCl4,POCl3等，還含有各種單質氣體，如氧氣，氯氣，氦氣等。反應沉積管下方裝有氫氧噴燈，當反應氣體流經把手管到達沉積管時，噴燈以一定流速從左往右勻速移動，反應物在高溫的作用下通過熱泳原理發生氣相沉積。每次移動到最右端時快速返回，重復上面的操作，完成新一層的沉積。用MCVD工藝進行多層沉積后再經過縮棒就完成芯棒制作，芯棒再經過特殊的外包技術處理就形成光纖預制棒。

目前，利用MCVD玻璃車床料柜系統采用的內柜體無保溫隔熱措施，這就使得環境溫度降低可能導致反應物三氯化硼凝結堵管。此外，料柜也無氣體泄漏防護措施，一旦SiCl4料瓶或氫氣、氧氣、三氯化硼管路泄露就可能導致內柜體爆炸和使操作人員中毒的危險。

發明內容

為了解決MCVD玻璃車床料柜系統存在的諸多問題，本實用新型一種用于化學氣相沉積法玻璃車床的料柜，在現有技術的基礎上增加了料柜保溫功能、恒溫控制系統以及危險氣體泄漏報警系統和保護裝置。

本實用新型的技術方案是一種用于化學氣相沉積法玻璃車床的料柜，包括料柜框以及設置在料柜框內的四氯化硅料瓶系統和氣體管道系統，其特征在于：還包括快速排氣閥、加熱盤、風扇、固定架、柜溫熱電偶、管溫熱電偶、環狀加熱帶、溫控表、氣體探測器，所述料柜框包括外殼、內柜體、外隔板、柜門、橡膠條和保溫棉，在所述外殼的內側四周設置所述外隔板，所述內柜體設置在外隔板內部，所述保溫棉填充在由內柜體和外隔板形成的空間內，所述柜門設置在料柜框的正面，所述橡膠條粘貼在柜門內側；所述固定架設置在內柜體的內側壁，所述加熱盤設置在固定架內，所述風扇設置在固定架外，靠近內柜體的內壁，所述柜溫熱電偶設置在內柜體內壁；

在所述四氯化硅料瓶系統和氣體管道系統上分別設置所述環狀加熱帶和管溫熱電偶；所述溫控表設置在柜門表面，所述氣體探測器設置在內柜體內壁頂部，所述快速排氣閥穿過料柜框設置在料柜框的頂部，為常閉手動閥門。

本實用新型的有益效果是：由加熱盤、溫控表和熱電偶組成的恒溫溫控裝置具有溫度反饋和溫度調節功能，可使柜內空氣、各進料管路溫度和料瓶溫度保持恒定。采用在料柜外殼和內柜體的夾層中填充保溫棉結構，使料柜具有優良的保溫隔熱效果。同時內柜體還設有危險氣體報警系統，當危險氣體濃度超過設定值后，系統發出報警信號，提示工作人員打開快速排氣閥將柜內氣體排空，從而減少了危險氣體泄漏對人員的傷害，增加了內柜體安全性。

附圖說明

圖1為MCVD玻璃車型料柜本體結構示意圖；

圖2為MCVD玻璃車型料柜柜門內面結構示意圖。

具體實施方式