[實用新型]一種用于化學氣相沉積法玻璃車床料柜

有效

• 申請號: 202022923228.1
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN214327558U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 馮碩春;劉慶;雷朝;郭建同;李亞帥;袁強
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十六研究所
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 李美英

1.一種用于化學氣相沉積法玻璃車床料柜，包括料柜框（1）以及設置在料柜框（1）內的四氯化硅料瓶系統（2）和氣體管道系統（3），其特征在于：還包括快速排氣閥（4）、加熱盤（5）、風扇（6）、固定架（7）、柜溫熱電偶（8）、管溫熱電偶（9）、環狀加熱帶（10）、溫控表（11）、氣體探測器（12），所述料柜框（1）包括外殼(1-1)、內柜體（1-2）、外隔板（1-3）、柜門（1-4）、保溫棉（1-5）和橡膠條（1-6），在所述外殼(1-1)的內側四周設置所述外隔板(1-3)，所述內柜體(1-2)設置在外隔板(1-3)內部，所述保溫棉（1-5）填充在由內柜體（1-2）和外隔板（1-3）形成的空間內，所述柜門（1-4）設置在料柜框（1）的正面，所述橡膠條（1-6）粘貼在柜門（1-4）內側；所述固定架(7)設置在內柜體（1-2）的內側壁，所述加熱盤(5)設置在固定架(7)內，所述風扇(6)設置在固定架(7)外，靠近內柜體（1-2）的內壁，所述柜溫熱電偶(8)設置在內柜體(1-2)內壁；

在所述四氯化硅料瓶系統（2）和氣體管道系統（3）上分別設置所述環狀加熱帶(10)和管溫熱電偶(9)；所述溫控表(11)設置在柜門(1-4)表面，所述氣體探測器(12)設置在內柜體(1-2)內壁頂部，所述快速排氣閥(4)穿過料柜框（1）設置在料柜框（1）的頂部，為常閉手動閥門。