[實用新型]用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置

有效

• 申請號: 202022909807.0
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN214088642U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 朱建明
• 申請（專利權）人: 肇慶市科潤真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 廣州藍晟專利代理事務所(普通合伙) 44452
• 代理人: 丁海燕

本實用新型公開一種用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，包括蒸發源和蒸發材料導流器，蒸發源上設有鍍膜材料放置槽，鍍膜材料放置槽上部設有開口，蒸發材料導流器中設有導流通道，導流通道的一端與鍍膜材料放置槽的開口連通，導流通道的另一端開放并朝向工件的待鍍膜面。其方法是通過在蒸發源與工件之間設置蒸發材料導流器，蒸發源內的鍍膜材料加熱蒸發后，產生的鍍膜材料蒸汽通過蒸發材料導流器進行導向，根據工件的待鍍膜面所處位置改變蒸發方向，從而適應工件的多種不同輸送方式。本實用新型可實現從多種不同方向對工件進行蒸發鍍膜，適應工件的不同輸送方式，提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及蒸發鍍膜技術領域，特別涉及一種用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置。

背景技術

采用蒸發源進行蒸發鍍膜是真空鍍膜工藝的常用方式，其工藝特點是在真空環境中，通過加熱蒸發源，使其蒸發并沉積在工件表面，從而形成膜層。但在目前的真空鍍膜設備中，蒸發源的蒸發方向一般是水平向上的，也就是說，工件只能從蒸發源的上方經過，才能實現鍍膜，在該情況下，待鍍膜的工件需要通過專用的輔助夾具進行夾持后，再放置于蒸發源上方進行蒸發鍍膜，若工件采用傳統的輸送帶或傳動輥進行輸送，則無法實現蒸發鍍膜，因此，在實際的真空鍍膜生產中，采用蒸發鍍膜方式對工件進行鍍膜時，往往無法實現工件的連續輸送或者其輸送機構非常復雜，造成設備成本較高、生產效率也難以提高。

為此，在現有技術中，磁控濺射鍍膜方式也是真空鍍膜工藝的常用方式，該方式可以實現工件的任意方向鍍膜，但由于其鍍膜效率較低，很難實現快速鍍膜，相比之下，蒸發鍍膜的蒸發量非常大，可實現快速鍍膜，所以當工件需要大面積鍍膜或需要快速鍍膜時，目前仍然采用蒸發鍍膜的方式。因此，如何解決蒸發鍍膜無法變向蒸發的問題，在真空鍍膜領域內就具有重要的意義。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，提供一種用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，該裝置可實現從多種不同方向對工件進行蒸發鍍膜，適應工件的不同輸送方式，提高生產效率。

本實用新型的技術方案為：一種用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，包括蒸發源和蒸發材料導流器，蒸發源上設有鍍膜材料放置槽，鍍膜材料放置槽上部設有開口，蒸發材料導流器中設有導流通道，導流通道的一端與鍍膜材料放置槽的開口連通，導流通道的另一端開放并朝向工件的待鍍膜面。其中，鍍膜材料放置于鍍膜材料放置槽內，加熱后產生的鍍膜材料蒸汽通過蒸發材料導流器中的導流通道進行輸送，對工件的待鍍膜面進行鍍膜，由于導流通道的導向作用，鍍膜材料的蒸發方向可產生變化，因此對工件的鍍膜方向就不局限于其底面，根據實際生產中工件的一般輸送方式，較多地應用于工件上表面的鍍膜，當然，也可應用于其側面的鍍膜。在該情況下，工件就可以采用傳統的輸送帶或傳動輥進行輸送，而不局限于只能采用專用夾具進行輸送。

所述蒸發材料導流器包括導流管、加熱管套、加熱器和保溫層，導流管、加熱管套和保溫層由內到外依次設置，加熱器埋于保溫層中，導流管內為導流通道。該結構中，鍍膜材料蒸汽在蒸發源處已經形成，在蒸發材料導流器中，加熱管套、加熱器和保溫層的主要作用均是對鍍膜材料蒸汽進行保溫，防止由于輸送路徑過長而產生凝固或溫度下降的現象，從而對工件的鍍膜效果其保障作用。

所述加熱器為螺旋狀的加熱管，加熱管環繞于加熱管套外周。

所述加熱管的材料為鎢金屬加熱絲。

所述保溫層的材質為氧化鋁晶體纖維棉。

所述加熱管套的材質為鉬片。

所述導流通道的徑向截面呈圓形或矩形，相應地，鍍膜材料放置槽的開口呈圓形或矩形。

所述導流通道的軸向截面呈弧形環狀，末端開口連接有喇叭狀的擴散部。通過該喇叭狀的擴散部，可進一步保證工件上的鍍膜均勻性。

所述蒸發源安裝于鍍膜室內或鍍膜室外；