[實用新型]用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置有效
| 申請號： | 202022909807.0 | 申請日： | 2020-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN214088642U | 公開（公告）日： | 2021-08-31 |
| 發明（設計）人： | 朱建明 | 申請（專利權）人： | 肇慶市科潤真空設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 廣州藍晟專利代理事務所(普通合伙) 44452 | 代理人： | 丁海燕 |
| 地址： | 526060 廣東省肇*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 真空鍍膜 設備 蒸發 裝置 | ||
1.用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，包括蒸發源和蒸發材料導流器，蒸發源上設有鍍膜材料放置槽，鍍膜材料放置槽上部設有開口，蒸發材料導流器中設有導流通道，導流通道的一端與鍍膜材料放置槽的開口連通，導流通道的另一端開放并朝向工件的待鍍膜面。
2.根據權利要求1所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述蒸發材料導流器包括導流管、加熱管套、加熱器和保溫層，導流管、加熱管套和保溫層由內到外依次設置，加熱器埋于保溫層中，導流管內為導流通道。
3.根據權利要求2所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述加熱器為螺旋狀的加熱管，加熱管環繞于加熱管套外周。
4.根據權利要求3所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述加熱管的材料為鎢金屬加熱絲。
5.根據權利要求2所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述保溫層的材質為氧化鋁晶體纖維棉。
6.根據權利要求2所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述加熱管套的材質為鉬片。
7.根據權利要求1所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述導流通道的徑向截面呈圓形或矩形，相應地，鍍膜材料放置槽的開口呈圓形或矩形。
8.根據權利要求1所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述導流通道的軸向截面呈弧形環狀，末端開口連接有喇叭狀的擴散部。
9.根據權利要求1所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述蒸發源安裝于鍍膜室內或鍍膜室外；
當蒸發源安裝于鍍膜室內時，通過支架安裝于工件一側或直接安裝于鍍膜室的內壁上；
當蒸發源安裝于鍍膜室外時，蒸發材料導流器穿過鍍膜室的側壁進入鍍膜室后，末端開口朝向工件的待鍍膜面。
10.根據權利要求1所述用于真空鍍膜設備的異向蒸發裝置，其特征在于，所述工件采用輸送帶或傳動輥進行輸送，蒸發源位于工件的一側，蒸發材料導流器整體呈拱形，導流通道的末端位于工件上方。
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