[實用新型]一種花籃端板與導液槽的一體式結構有效
| 申請號： | 202022907644.2 | 申請日： | 2020-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN214099603U | 公開（公告）日： | 2021-08-31 |
| 發明（設計）人： | 孟嶺 | 申請（專利權）人： | 無錫市世通模塑有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 谷金穎 |
| 地址： | 214000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 花籃 導液槽 體式 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種花籃端板與導液槽的一體式結構，包括硅片花籃主體(5)，其特征在于：所述硅片花籃主體(5)由端板(1)與硅片花籃芯桿(4)組成，且該端板(1)的內壁開設有與硅片花籃芯桿(4)端部相適配的安裝孔(2)，所述安裝孔(2)的下方安裝有導液槽(3)。
2.根據權利要求1所述的一種花籃端板與導液槽的一體式結構，其特征在于：所述硅片花籃芯桿(4)共安裝有兩個。
3.根據權利要求1所述的一種花籃端板與導液槽的一體式結構，其特征在于：所述安裝孔(2)共設置有六個，其中三個安裝孔(2)開設于一個端板(1)表面上，另外三個安裝孔(2)開設于另一個端板(1)表面上。
4.根據權利要求1所述的一種花籃端板與導液槽的一體式結構，其特征在于：所述端板(1)共安裝有兩個，且兩個端板(1)分別設置于硅片花籃芯桿(4)的兩端。
5.根據權利要求1所述的一種花籃端板與導液槽的一體式結構，其特征在于：所述硅片花籃主體(5)的底部兩側設計為鏤空。
6.根據權利要求1所述的一種花籃端板與導液槽的一體式結構，其特征在于：所述硅片花籃芯桿(4)的橫截面為圓形，且其為圓柱體結構。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
