[實用新型]防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構有效
| 申請號: | 202022907573.6 | 申請日: | 2020-12-06 |
| 公開(公告)號: | CN213340309U | 公開(公告)日: | 2021-06-01 |
| 發明(設計)人: | 孟嶺 | 申請(專利權)人: | 無錫市世通模塑有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 谷金穎 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 防止 轉動 花籃 桿子 平面 結構 | ||
本實用新型公開了防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構,包括花籃端板,所述花籃端板的上端開設有齒口,且于該花籃端板的上端兩側開設有用于安裝硅片花籃支撐桿的安裝孔,所述安裝孔的側面為基準面,該基準面與花籃端板的垂直面相貼合;本實用新型所述的防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構,桿子加止轉平面后安裝時不易轉動,使得在同一距離下內部尺寸大,且桿子支撐強度不變,解決硅片花籃支撐桿安裝時無基準面齒易旋轉,硅片花籃支撐桿在同一距離下內部尺寸小的問題。
技術領域
本實用新型涉及花籃領域,具體為防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構。
背景技術
花籃是廣泛應用于太陽能電池、IC芯片、LED芯片等半導體制造領域的生產制具,花籃主要用于晶片的存放、蝕刻、搬運等,花籃主要包含方形花籃和圓形花籃
硅片花籃支撐桿安裝時無基準面齒易旋轉,硅片花籃支撐桿在同一距離下內部尺寸小,為此,提出防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構。
實用新型內容
針對現有技術的不足,本實用新型提供了防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構,本實用新型提供如下技術方案:包括花籃端板,所述花籃端板的上端開設有齒口,且于該花籃端板的上端兩側開設有用于安裝硅片花籃支撐桿的安裝孔,所述安裝孔的側面為基準面,該基準面與花籃端板的垂直面相貼合。
優選的,所述安裝孔共設置有三個。
優選的,所述花籃端板為碳纖維材料構件。
優選的,所述齒口開設于所述花籃端板的上方。
優選的,所述安裝孔的橫截面為不規則的圓形。
優選的,所述硅片花籃支撐桿為一種圓柱體結構。
與現有技術對比,本實用新型具備以下有益效果:該防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構,桿子加止轉平面后安裝時不易轉動,使得在同一距離下內部尺寸大,且桿子支撐強度不變,解決硅片花籃支撐桿安裝時無基準面齒易旋轉,硅片花籃支撐桿在同一距離下內部尺寸小的問題。
附圖說明
圖1為本實用新型濕花籃桿子的止轉平面結構的整體結構示意圖;
圖2為本實用新型圖1中A處的放大圖;
圖3為傳統花籃端板與安裝孔連接示意圖;
圖4為圖3中B處的放大圖;
圖中:1、花籃端板;2、齒口;3、安裝孔;4、基準面。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
請參閱圖1-4,防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構,包括花籃端板1,所述花籃端板1的上端開設有齒口2,且于該花籃端板1的上端兩側開設有用于安裝硅片花籃支撐桿的安裝孔3,所述安裝孔3的側面為基準面4,該基準面4與花籃端板1的垂直面相貼合。
安裝孔3共設置有三個。
花籃端板1為碳纖維材料構件。
齒口2開設于所述花籃端板1的上方。
安裝孔3的橫截面為不規則的圓形。
硅片花籃支撐桿為一種圓柱體結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





