[實用新型]防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構有效
| 申請號： | 202022907573.6 | 申請日： | 2020-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN213340309U | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發明（設計）人： | 孟嶺 | 申請（專利權）人： | 無錫市世通模塑有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 谷金穎 |
| 地址： | 214000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 防止 轉動 花籃 桿子 平面 結構 | ||
【權利要求書】：
1.防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構，包括花籃端板(1)，其特征在于：所述花籃端板(1)的上端開設有齒口(2)，且于該花籃端板(1)的上端兩側開設有用于安裝硅片花籃支撐桿的安裝孔(3)，所述安裝孔(3)的側面為基準面(4)，該基準面(4)與花籃端板(1)的垂直面相貼合。
2.根據權利要求1所述的防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構，其特征在于：所述安裝孔(3)共設置有三個。
3.根據權利要求1所述的防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構，其特征在于：所述花籃端板(1)為碳纖維材料構件。
4.根據權利要求1所述的防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構，其特征在于：所述齒口(2)開設于所述花籃端板(1)的上方。
5.根據權利要求1所述的防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構，其特征在于：所述安裝孔(3)的橫截面為不規則的圓形。
6.根據權利要求1所述的防止齒桿轉動的濕花籃桿子的止轉平面結構，其特征在于：所述硅片花籃支撐桿為一種圓柱體結構。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
