[實(shí)用新型]一種晶圓目檢定位防滑臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022907342.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN213424967U | 公開（公告）日： | 2021-06-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄧國發(fā);劉海波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市廣盛浩科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/683 | 分類號(hào)： | H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京睿博行遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11297 | 代理人： | 計(jì)小玲 |
| 地址： | 518031 廣東省深圳市福*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶圓目 檢定 防滑 | ||
1.一種晶圓目檢定位防滑臺(tái)，其特征在于：它包括有平臺(tái)（1）；所述平臺(tái)（1）的頂表面上設(shè)置有多個(gè)小孔（104）；所述平臺(tái)（1）的內(nèi)部設(shè)置有抽氣腔；所述小孔（104）均與抽氣腔相接通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓目檢定位防滑臺(tái)，其特征在于：所述平臺(tái)（1）上的所有小孔（104）沿直線排列成為一組小孔組；抽氣腔為貫穿平臺(tái)（1）左右兩側(cè)的直孔（101）；所述小孔（104）均與直孔（101）相接通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓目檢定位防滑臺(tái)，其特征在于：一排小孔組和一個(gè)直孔（101）形成一個(gè)吸附氣路；所述吸附氣路的數(shù)量至少為兩個(gè)；所述吸附氣路在平臺(tái)（1）上呈圓周分布；各個(gè)直孔（101）之間接通于平臺(tái)（1）的中心位置處。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓目檢定位防滑臺(tái)，其特征在于：所述直孔（101）的兩端均設(shè)置有孔內(nèi)螺紋（101a）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓目檢定位防滑臺(tái)，其特征在于：所述平臺(tái)（1）的表面上蝕刻有網(wǎng)格標(biāo)線（103）。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
