[實用新型]一種全自動撕金機

有效

• 申請號: 202022894620.8
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN213304083U
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 盧傳播
• 申請（專利權）人: 廈門市弘瀚電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 廈門市天富勤知識產權代理事務所(普通合伙) 35244
• 代理人: 唐紹烈

本實用新型公開一種全自動撕金機，包括機架，所述機架內設置有上下兩層的可移動料架，可移動料架上設置有用于固定晶圓的真空吸盤，所述機架沿撕金加工方向依次設置有晶圓下料模組、白膜模組、切膜模組、撕金模組、對折模組、噴碼模組和稱重回收模組。本案提出的全自動撕金機功能豐富，且撕金方式簡單。

本案有請優先權(優先權號202021776357.6，優先權日2020-08-24)。

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工設備技術領域，特別涉及一種全自動撕金機。

背景技術

在現有技術中，晶圓剝離金屬的工序還是通過人工完成，由于人工手動撕金存在效率低下，因壓膜力度不均勻造成的撕金不徹底的問題，同時在手動撕金的過程中，受操作人員水平的限制、晶圓本身特性等因素的影響，極易發生晶圓受到污染、損壞等情況。

申請號為CN201921269895.3的中國專利，提出了一種自動撕金裝置，該裝置使用真空吸盤進行撕金。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種全自動撕金機，克服上述缺陷，提供一種撕金方式快捷的全自動撕金機。

為達成上述目的，本實用新型的解決方案為：一種全自動撕金機，包括機架，所述機架內設置有上下兩層的可移動料架，可移動料架上設置有用于固定晶圓的真空吸盤，

所述機架沿撕金加工方向依次設置有晶圓下料模組、白膜模組、切膜模組、撕金模組、對折模組、噴碼模組和稱重回收模組；

所述白膜模組包括白膜輥和壓膜部件，所述白膜輥連接在晶圓下料模組下部的邊緣，所述的壓膜部件為桿狀機構，該壓膜部件設置在切膜模組的下部，

所述切膜模組包括切膜架和切刀，所述切膜架為冂字形結構，該切膜架固定連接在機架上，所述切刀移動設置在切膜架上；

所述撕金模組包括撕金滑軌、移動板和拉撕機械手，所述滑軌是兩平行設置在機架上的凸起件，所述移動板滑接在撕金滑軌上，在移動板上設有拉撕機械手；

所述對折模組包括移動滑軌、對折機械手、安裝板和翻折機械手，所述移動滑軌是兩平行設置在機架上的凸起件，所述對折機械手滑設在移動滑軌上，安裝板通過數個支撐桿件設置在機架上，所述翻折機械手滑動設置在安裝板下部；

所述噴碼模組包括噴碼器；

所述稱重回收模組包括電子秤、落料架和回收箱，所述落料架設置在機架上，所述電子秤設置在落料架頂部的一側，所述回收箱設置在落料架內部。

優選的，所述晶圓下料模組包括供料盒和下料夾爪，所述的供料盒通過支撐桿設置在機架上，所述的下料夾爪設置在供料盒下。

優選的，所述噴碼模組還包括移動架和升降架，所述移動架設置在機架上，且位于落料架上電子秤一側的外部，所述升降架設置在移動架上，所述噴碼器設置在升降架上。

采用上述方案后，本實用新型的有益效果在于：

1、功能豐富；本實用新型有快速自動上下料、自動撕金、自動折疊、噴碼計數、稱重計量、自動回收等功能。

2、撕金方式簡單；本實用新型是通過先貼設白膜，然后再由白膜帶走鍍金層的撕金辦法，撕金方式簡單。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型可移動料架的結構示意圖；

圖3是本實用新型可移動料架的側視圖；

圖4是本實用新型切膜架的結構示意圖；

圖5是本實用新型撕金模組和對折模組的結構示意圖；