[實用新型]一種全自動撕金機

有效

• 申請號: 202022894620.8
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN213304083U
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 盧傳播
• 申請（專利權）人: 廈門市弘瀚電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 廈門市天富勤知識產權代理事務所(普通合伙) 35244
• 代理人: 唐紹烈

1.一種全自動撕金機，包括機架(1)，所述機架(1)內設置有上下兩層的可移動料架(11)，可移動料架(11)上設置有用于固定晶圓的真空吸盤(12)，其特征在于：

所述機架(1)沿撕金加工方向依次設置有晶圓下料模組(2)、白膜模組(3)、切膜模組(4)、撕金模組(5)、對折模組(6)、噴碼模組(7)和稱重回收模組(8)；

所述白膜模組(3)包括白膜輥(31)和壓膜部件(32)，所述白膜輥(31)連接在晶圓下料模組(2)下部的邊緣，所述的壓膜部件(32)為桿狀機構，該壓膜部件(32)設置在切膜模組(4)的下部；

所述切膜模組(4)包括切膜架(41)和切刀(42)，所述切膜架(41)為冂字形結構，該切膜架(41)固定連接在機架(1)上，所述切刀(42)移動設置在切膜架(41)上；

所述撕金模組(5)包括撕金滑軌(51)、移動板(52)和拉撕機械手(53)，所述滑軌(51)是兩平行設置在機架(1)上的凸起件，所述移動板(52)滑接在撕金滑軌(51)上，在移動板(52)上設有拉撕機械手(53)；

所述對折模組(6)包括移動滑軌(61)、對折機械手(62)、安裝板(63)和翻折機械手(64)，所述移動滑軌(61)是兩平行設置在機架(1)上的凸起件，所述對折機械手(62)滑設在移動滑軌(61)上，安裝板(63)通過數個支撐桿件設置在機架(1)上，所述翻折機械手(64)滑動設置在安裝板(63)下部；

所述噴碼模組(7)包括噴碼器(71)；

所述稱重回收模組(8)包括電子秤(81)、落料架(82)和回收箱(83)，所述落料架(82)設置在機架(1)上，所述電子秤(81)設置在落料架(82)頂部的一側，所述回收箱(83)設置在落料架(82)內部。

2.如權利要求1所述一種全自動撕金機，其特征在于：所述晶圓下料模組(2)包括供料盒(21)和下料夾爪(22)，所述的供料盒(21)通過支撐桿設置在機架(1)上，所述的下料夾爪(22)設置在供料盒(21)下。

3.如權利要求1所述一種全自動撕金機，其特征在于：所述噴碼模組(7)還包括移動架(72)和升降架(73)，所述移動架(72)設置在機架(1)上，且位于落料架(82)上電子秤(81)一側的外部，所述升降架(73)設置在移動架(72)上，所述噴碼器(71)設置在升降架(73)上。