[實(shí)用新型]一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022872452.2
• 申請(qǐng)日: 2020-12-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213895988U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 靳偉;余海春;戴秀海;高心愿
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/50
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 上海申蒙商標(biāo)專(zhuān)利代理有限公司 31214
• 代理人: 周宇凡

1.一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，包括設(shè)置在真空成膜室內(nèi)的轉(zhuǎn)架，所述轉(zhuǎn)架上裝載有基片串，其特征在于：所述公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)包括動(dòng)力輸入裝置、磁流體、靜止磁齒盤(pán)以及傳動(dòng)磁齒輪系，其中所述動(dòng)力輸入裝置設(shè)置在所述真空成膜室的大氣側(cè)并與所述磁流體相連接，所述磁流體設(shè)置在所述轉(zhuǎn)架的中心位置以驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)，即所述基片串的公轉(zhuǎn)；所述靜止磁齒盤(pán)固定在所述真空成膜室的底板上，其與所述傳動(dòng)磁齒輪系的動(dòng)力輸入端通過(guò)磁性作用構(gòu)成非接觸式嚙合，所述傳動(dòng)磁齒輪系的動(dòng)力輸出端與所述基片串相傳動(dòng)配合以驅(qū)動(dòng)所述基片串在所述轉(zhuǎn)架上自轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，其特征在于：所述傳動(dòng)磁齒輪系包括第一傳動(dòng)磁齒輪、第二傳動(dòng)磁齒輪以及第三傳動(dòng)磁齒輪，其中所述第一傳動(dòng)磁齒輪和所述第二傳動(dòng)磁齒輪通過(guò)軸承座固定在所述轉(zhuǎn)架的底板上，所述第一傳動(dòng)磁齒輪位于所述靜止磁齒盤(pán)的上方，所述第二傳動(dòng)磁齒輪與所述第一傳動(dòng)磁齒輪構(gòu)成傳動(dòng)配合，所述第三傳動(dòng)磁齒輪與所述基片串相連接，所述第三傳動(dòng)磁齒輪與所述第二傳動(dòng)磁齒輪構(gòu)成傳動(dòng)配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，其特征在于：所述第二傳動(dòng)磁齒輪與所述第一傳動(dòng)磁齒輪之間通過(guò)傳動(dòng)軸連接構(gòu)成傳動(dòng)配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，其特征在于：所述第三傳動(dòng)磁齒輪與所述第二傳動(dòng)磁齒輪之間通過(guò)嚙合構(gòu)成傳動(dòng)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，其特征在于：所述動(dòng)力輸入裝置包括傳動(dòng)電機(jī)、同步帶和同步帶輪，所述同步帶輪分別安裝在所述傳動(dòng)電機(jī)的輸出端以及所述磁流體上，所述同步帶連接兩個(gè)所述同步帶輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜用非接觸式的公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架系統(tǒng)，其特征在于：在所述真空成膜室的底板上還設(shè)置有若干齒輪擋板，若干所述齒輪擋板對(duì)位于所述轉(zhuǎn)架底部的磁流體、靜止磁齒盤(pán)以及傳動(dòng)磁齒輪系進(jìn)行圍合遮擋。