[實用新型]一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具

有效

• 申請號: 202022870071.0
• 申請日: 2020-12-03
• 公開（公告）號: CN213997142U
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 張樹東;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（大連）有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 大連智高專利事務所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

本實用新型公開了一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，包括清洗固定底板和多個清洗固定中板，在清洗固定底板上面設有依次疊加設置的清洗固定中板，每個清洗固定中板底面四周分布有限位卡塊；所述清洗固定底板、清洗固定中板為中空的方形框架，所述方形框架上面四周分布有限位擋板，在限位擋板內側凹設限位卡塊槽；在方形框架的每個框板上面均安裝有定位銷和定位板。本申請治具可以根據部件數量及清洗槽尺寸進行疊加，能夠有效的避免部件劃傷，具有較好的耐磨性，并且使用方便，定位精度高，可重復利用，節省人力，提高了工作效率。

技術領域

本實用新型涉及一種清洗治具，具體涉及一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具。

背景技術

目前對硅環類部件進行清洗作業時，由于硅材質比較脆，成膜面不允許出現新的劃傷，因此使用化學藥液浸泡時無法疊放，通常只能單枚進行作業，其效率低下，而且人工手持作業較危險，容易產生磕碰等不良。

現有技術中使用三角形支架墊在兩枚硅環類部件之間進行清洗浸泡，但在拿取過程中如果操作不當或在化學藥液中產生移動，支架的棱邊會造成硅環類部件成膜面產生新的劃傷，影響設備上機使用。所以開發一種既能固定部件，又可多枚同時作業且成膜面能夠受到保護的清洗治具迫在眉睫。

實用新型內容

針對以上問題，本申請提供一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，用于代替三角形支架進行放置或清洗作業，在清洗過程中硅環類部件固定在本申請治具上不產生移動，并且成膜面受到治具保護，避免造成多余的劃傷等缺陷。

為實現上述目的，本申請的技術方案為：一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，包括清洗固定底板和多個清洗固定中板，在清洗固定底板上面設有依次疊加設置的清洗固定中板，每個清洗固定中板底面四周分布有限位卡塊；所述清洗固定底板、清洗固定中板為中空的方形框架，所述方形框架上面四周分布有限位擋板，在限位擋板內側凹設限位卡塊槽；在方形框架的每個框板上面均安裝有定位銷和定位板。

進一步的，所述定位銷位于框板中部，定位板位于框板一端。

進一步的，所述定位板為V型定位板，其尖端與框板內側平齊。

進一步的，所述每個框板外側設有卡槽，框板底部設有與卡槽相連的插槽。

進一步的，還包括固定柵板，所述固定柵板包括固定立柱，在固定立柱內側設有多組平行設置的固定插板。

更進一步的，每組固定插板包括上層固定插板和下層固定插板，所述下層固定插板位于插槽內，上層固定插板的尖端與V型定位板接觸，立柱置于卡槽內。

更進一步的，最下面一組固定插板用于固定清洗固定底板，倒數第二組以上的固定插板用于固定清洗固定中板。

更進一步的，每組固定插板之間的距離大于待清洗硅環類部件厚度。

作為進一步的，所述清洗固定底板、清洗固定中板和固定柵板采用PVC材料。

作為進一步的，所述限位擋板為L型限位擋板。

本實用新型由于采用以上技術方案，能夠取得如下的技術效果：本申請治具可以根據部件數量及清洗槽尺寸進行疊加，能夠有效的避免部件劃傷，具有較好的耐磨性，并且使用方便，定位精度高，可重復利用，節省人力，提高了工作效率。

附圖說明

圖1為清洗固定底板與清洗固定中板組裝分解圖；

圖2為清洗固定中板結構示意圖；

圖3為清洗固定中板與待清洗硅環類部件裝配圖；

圖4為清洗固定中板仰視圖；

圖5為固定柵板結構示意圖；