[實用新型]一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具

有效

• 申請號: 202022870071.0
• 申請日: 2020-12-03
• 公開（公告）號: CN213997142U
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 張樹東;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（大連）有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 大連智高專利事務所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

1.一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，包括清洗固定底板和多個清洗固定中板，在清洗固定底板上面設有依次疊加設置的清洗固定中板，每個清洗固定中板底面四周分布有限位卡塊；所述清洗固定底板、清洗固定中板為中空的方形框架，所述方形框架上面四周分布有限位擋板，在限位擋板內側凹設限位卡塊槽；在方形框架的每個框板上面均安裝有定位銷和定位板。

2.根據權利要求1所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，所述定位銷位于框板中部，定位板位于框板一端。

3.根據權利要求1或2所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，所述定位板為V型定位板，其尖端與框板內側平齊。

4.根據權利要求1所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，所述每個框板外側設有卡槽，框板底部設有與卡槽相連的插槽。

5.根據權利要求4所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，還包括固定柵板，所述固定柵板包括固定立柱，在固定立柱內側設有多組平行設置的固定插板。

6.根據權利要求5所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，每組固定插板包括上層固定插板和下層固定插板，所述下層固定插板位于插槽內，上層固定插板的尖端與V型定位板接觸，立柱置于卡槽內。

7.根據權利要求5所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，最下面一組固定插板用于固定清洗固定底板，倒數第二組以上的固定插板用于固定清洗固定中板。

8.根據權利要求5所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，每組固定插板之間的距離大于待清洗硅環類部件厚度。

9.根據權利要求5所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，所述清洗固定底板、清洗固定中板和固定柵板采用PVC材料。

10.根據權利要求1所述一種半導體刻蝕設備硅環類零部件清洗治具，其特征在于，所述限位擋板為L型限位擋板。