[實用新型]用于等離子室的邊緣環有效
| 申請號： | 202022865060.3 | 申請日： | 2020-04-10 |
| 公開（公告）號： | CN214411118U | 公開（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發明（設計）人： | 邁克爾·C·凱洛格;亞當·克里斯多夫·梅斯;阿列克謝·馬拉霍塔諾夫;約翰·霍蘭德;陳志剛;菲力克斯·萊布·科扎克維奇;亞歷山大·馬丘什金 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務所 31263 | 代理人： | 李獻忠;張華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 等離子 邊緣 | ||
1.一種用于等離子體室的邊緣環，所述邊緣環被配置為沿著襯底支撐件的外圍放置，所述邊緣環的特征在于，
頂部環形表面(102)；
頂部止擋表面(720)；
在所述頂部環形表面和所述頂部止擋表面之間的圓形的成角度的表面(710)；
底部環形表面(302)，其具有形成在其中的多個螺釘插孔件(402A)。
2.根據權利要求1所述的邊緣環，其中，所述多個螺釘插孔件中的每一個延伸到所述邊緣環中以處于所述頂部止擋表面的水平高度以下的水平處。
3.根據權利要求2所述的邊緣環，其中，所述多個螺釘插孔件中的每一個具有頂部表面，所述頂部表面在所述頂部止擋表面的所述水平高度以下。
4.根據權利要求1所述的邊緣環，其中，所述多個螺釘插孔件中的每一個具有用于容納螺釘的多個容納螺紋。
5.根據權利要求4所述的邊緣環，其中，所述多個容納螺紋包括內螺紋和外螺紋，其中所述外螺紋的直徑大于所述內螺紋的直徑。
6.根據權利要求4所述的邊緣環，其中，所述多個螺釘插孔件中的每一個在所述多個容納螺紋的上方具有非螺紋部分。
7.根據權利要求4所述的邊緣環，其中，所述多個螺釘插孔件中的每一個具有倒角，其中，所述倒角位于所述多個容納螺紋的下方。
8.根據權利要求7所述的邊緣環，其中，所述倒角相對于所述底部環形表面形成45度的角度。
9.根據權利要求1所述的邊緣環，其中，所述多個螺釘插件中的每一個具有非螺紋部分、多個容納螺紋和倒角，其中所述非螺紋部分在所述多個容納螺紋的上方，其中所述倒角位于所述多個容納螺紋的下方。
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