[實用新型]一種方便移動的晶圓檢查機

有效

• 申請號: 202022852686.0
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN214703373U
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 鐘金鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州殷迪新科技有限公司
• 主分類號: G01N21/952
• 分類號: G01N21/952;G01N21/01
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 朱振德

本實用新型公開了一種方便移動的晶圓檢查機，包括底座，底座上設有承臺箱，承臺箱上固定安裝有箱體，箱體上固定安裝有氣缸，氣缸活塞桿端固定安裝有機箱，機箱內固定安裝有第一電機，第一電機轉軸端固定連接有條形盒，條形盒內固定安裝有第二電機，第二電機轉軸端固定連接有絲桿，絲桿上螺紋連接有連桿，連桿的一端設有檢測探頭和照明燈，底座上螺紋連接有螺紋桿。通過設置有第一電機，起到轉動條形盒方位的目的，利于檢查晶圓的外表面，配合第二電機和絲桿，便于移動檢測探頭，達到對晶圓全方位檢測的目的，通過設置有照明燈，利于晶圓的檢查。

技術領域

本實用新型屬于晶圓檢查機技術領域，具體為一種方便移動的晶圓檢查機。

背景技術

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。

目前，現有的晶圓檢查機，在使用時，對晶圓外觀進行檢查時，不能有效全方位對晶圓表面進行查看，檢查效率較低，且在晶圓檢查機使用位置要求較高，地面需要平整，無坑洼，否則晶圓檢查機一角會出現懸空，影響使用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種方便移動的晶圓檢查機，以解決現有晶圓檢查機檢查不夠全面，且使用位置要求較高的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種方便移動的晶圓檢查機，包括底座，所述底座上設有承臺箱，所述承臺箱上固定安裝有箱體，所述箱體上固定安裝有氣缸，氣缸的型號為SC100，通過設置有氣缸，起到升降機箱的目的，所述氣缸活塞桿端固定安裝有機箱，通過設置有機箱，起到保護第一電機的目的，所述機箱內固定安裝有第一電機，第一電機的型號為 TCB8024 B3，通過設置有第一電機，起到帶動條形盒轉動的目的，所述第一電機轉軸端固定連接有條形盒，條形盒底端為開放空間，所述條形盒內固定安裝有第二電機，第二電機的型號為5IK90GN-YF，第二電機具有正反功能，所述第二電機轉軸端固定連接有絲桿，絲桿的另一端通過軸承與條形盒內壁連接，所述絲桿上螺紋連接有連桿，連桿在條形盒內滑動，所述連桿的一端設有檢測探頭和照明燈，照明燈的型號為XX3008-D48，通過設置有照明燈，起到提供光線照明的目的，配合檢測探頭，便于對晶圓進行檢測，所述底座上螺紋連接有螺紋桿，螺紋桿的設置，在晶圓檢查機一角出現懸空時，起到支撐的作用，利于保持晶圓檢查機的穩定。

優選的，所述箱體的表面設有箱門，所述箱門上設有門把，通過設置帶有門把的箱門，便于打開箱體。

優選的，所述箱體側面設有顯示器，所述螺紋桿的個數為四個，四個螺紋桿分別設置于晶圓檢查機的四個角。

優選的，所述螺紋桿的底端設有圓箱，所述圓箱底端設有緩沖橡膠，通過設置帶有緩沖橡膠的圓箱，使得晶圓檢查機與地面接觸穩定。

優選的，所述螺紋桿的頂端固定安裝有把手，所述把手的個數為四個，通過設置有把手，便于轉動螺紋桿。

優選的，所述螺紋桿的底端固定安裝有轉盤，所述轉盤在圓箱內轉動，通過設置有轉盤，起到承接螺紋桿轉動的目的。

優選的，所述底座的表面設有萬向輪，所述萬向輪的個數為四個，通過設置有萬向輪，便于移動晶圓檢查機。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：通過設置有第一電機，起到轉動條形盒方位的目的，利于檢查晶圓的外表面，配合第二電機和絲桿，便于移動檢測探頭，達到對晶圓全方位檢測的目的，通過設置有照明燈，利于晶圓的檢查，通過設置有螺紋桿，螺紋桿位于晶圓檢查機的四角，在晶圓檢查機一角出現懸空時，起到支撐的作用，利于保持晶圓檢查機的穩定，起到提高晶圓檢查機適用性的目的，利于適用不同地形。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型的箱體剖面圖；

圖3為本實用新型的圓箱示意圖。