[實用新型]一種方便移動的晶圓檢查機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022852686.0
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN214703373U
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鐘金鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州殷迪新科技有限公司
• 主分類號: G01N21/952
• 分類號: G01N21/952;G01N21/01
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32257
• 代理人: 朱振德

1.一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上設(shè)有承臺箱(13)，所述承臺箱(13)上固定安裝有箱體(9)，所述箱體(9)上固定安裝有氣缸(10)，所述氣缸(10)活塞桿端固定安裝有機(jī)箱(14)，所述機(jī)箱(14)內(nèi)固定安裝有第一電機(jī)(15)，所述第一電機(jī)(15)轉(zhuǎn)軸端固定連接有條形盒(12)，所述條形盒(12)內(nèi)固定安裝有第二電機(jī)(16)，所述第二電機(jī)(16)轉(zhuǎn)軸端固定連接有絲桿(17)，所述絲桿(17)上螺紋連接有連桿(6)，所述連桿(6)的一端設(shè)有檢測探頭(18)和照明燈(19)，所述底座(1)上螺紋連接有螺紋桿(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，其特征在于：所述箱體(9)的表面設(shè)有箱門(11)，所述箱門(11)上設(shè)有門把。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，其特征在于：所述箱體(9)側(cè)面設(shè)有顯示器(8)，所述螺紋桿(3)的個數(shù)為四個。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，其特征在于：所述螺紋桿(3)的底端設(shè)有圓箱(7)，所述圓箱(7)底端設(shè)有緩沖橡膠。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，其特征在于：所述螺紋桿(3)的頂端固定安裝有把手(2)，所述把手(2)的個數(shù)為四個。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，其特征在于：所述螺紋桿(3)的底端固定安裝有轉(zhuǎn)盤(4)，所述轉(zhuǎn)盤(4)在圓箱(7)內(nèi)轉(zhuǎn)動。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方便移動的晶圓檢查機(jī)，其特征在于：所述底座(1)的表面設(shè)有萬向輪(5)，所述萬向輪(5)的個數(shù)為四個。