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[實(shí)用新型]一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202022847758.2 申請日: 2020-12-01
公開(公告)號: CN213803977U 公開(公告)日: 2021-07-27
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張銀冰 申請(專利權(quán))人: 張銀冰
主分類號: C23C16/455 分類號: C23C16/455;C23C16/40
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 430062 湖北*** 國省代碼: 湖北;42
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 金屬 有機(jī)化學(xué) 沉積 反應(yīng)器 噴淋 裝置
【說明書】:

實(shí)用新型公開了一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置,包括蒸汽室和噴淋反應(yīng)室,所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有沉淀板,所述噴淋反應(yīng)室設(shè)置于所述蒸汽室上方,且通過單向透氣結(jié)構(gòu)連通,該單向透氣結(jié)構(gòu)的透氣方向?yàn)樽哉羝蚁驀娏芊磻?yīng)室,所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有噴淋結(jié)構(gòu),所述蒸汽室一側(cè)設(shè)置有蒸汽管。有益效果在于:通過在噴淋反應(yīng)室內(nèi)側(cè)底部設(shè)置擾流結(jié)構(gòu),可通過向噴淋反應(yīng)室內(nèi)部送入氮?dú)猓瑴p少反應(yīng)氣體下沉,提高反應(yīng)氣體結(jié)合的效率,減少原材料浪費(fèi);設(shè)置擾流結(jié)構(gòu)后,在向噴淋反應(yīng)室內(nèi)部送入氮?dú)獾倪^程中,可使蒸汽的分布更加均勻,從而提高噴淋反應(yīng)室內(nèi)部溫度的一致性,進(jìn)而提高沉淀反應(yīng)的均勻性和穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置。

背景技術(shù)

金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀技術(shù)具有可以生長純度很高的材料、生長易于控制、生長超薄外延層、大規(guī)模生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn),所以金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相技術(shù)成為制備化合物半導(dǎo)體薄膜的關(guān)鍵技術(shù),如Zn(C2H5)2,即二乙基鋅氣體和水蒸氣反應(yīng)制備氧化鋅薄膜,被廣泛的運(yùn)用于太陽能電池、傳感器、發(fā)光管等領(lǐng)域。反應(yīng)時,首先在蒸汽室內(nèi)部充氣,而后將蒸汽室內(nèi)的高溫蒸汽均勻送入反應(yīng)室內(nèi),而后通過噴淋頭向反應(yīng)室內(nèi)部送入二乙基鋅氣體,通過二乙基鋅氣體與蒸汽反應(yīng),在沉淀板上形成氧化鋅薄膜。此種反應(yīng)在進(jìn)行時,由于二乙基鋅氣體較重,進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)部后下沉,無法與沉淀板接觸,其雖能夠與水蒸氣劇烈反應(yīng),但是依舊存在一定的浪費(fèi);由于蒸汽向反應(yīng)室內(nèi)部輸入點(diǎn)位不能做到絕對均勻,導(dǎo)致反應(yīng)室內(nèi)部溫度存在一定的誤差,會在一定程度上影響沉淀反應(yīng)的均勻性。基于此,申請人提出一種可提高沉淀反應(yīng)穩(wěn)定性的噴淋裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置,本實(shí)用新型提供的諸多技術(shù)方案中優(yōu)選的技術(shù)方案具有:可使二乙基鋅氣體與蒸汽的接觸更加均勻,提高反應(yīng)的徹底性,同時能夠提高反應(yīng)室內(nèi)部溫度的均勻性,從而提高沉淀反應(yīng)的穩(wěn)定性等技術(shù)效果,詳見下文闡述。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案:

本實(shí)用新型提供的一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置,包括蒸汽室和噴淋反應(yīng)室,所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有沉淀板,所述噴淋反應(yīng)室設(shè)置于所述蒸汽室上方,且通過單向透氣結(jié)構(gòu)連通,該單向透氣結(jié)構(gòu)的透氣方向?yàn)樽哉羝蚁驀娏芊磻?yīng)室,所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有噴淋結(jié)構(gòu),所述蒸汽室一側(cè)設(shè)置有蒸汽管;

所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)側(cè)底部設(shè)置有擾流結(jié)構(gòu),所述蒸汽室內(nèi)部設(shè)置有向所述擾流結(jié)構(gòu)輸送氮?dú)獾牡獨(dú)夤堋?/p>

作為優(yōu)選,所述單向透氣結(jié)構(gòu)為單向透氣膜,所述單向透氣結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個,且均勻分布在所述蒸汽室與所述噴淋反應(yīng)室之間。

作為優(yōu)選,所述蒸汽管自所述蒸汽室一側(cè)插入其內(nèi)部,且所述蒸汽管插入所述蒸汽室內(nèi)部一端設(shè)置有噴口擋板,所述噴口擋板與所述蒸汽管端部的軸向相互垂直。

作為優(yōu)選,所述擾流結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個,且均勻分布在所述噴淋反應(yīng)室的底部,所述氮?dú)夤苌蠈?yīng)所述擾流結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個氮?dú)鈬姽埽龅獨(dú)鈬姽茇Q直向上設(shè)置于所述擾流結(jié)構(gòu)的正下方。

作為優(yōu)選,所述擾流結(jié)構(gòu)包括擾流帽和支撐架,所述支撐架與所述擾流帽焊接固定,且所述氮?dú)鈬姽茇Q直設(shè)置于所述擾流帽的正下方中間位置。

作為優(yōu)選,所述擾流帽為圓形帽,且中部成型有向上的凸起,所述擾流帽下方對應(yīng)所述凸起成型有帽腔。

作為優(yōu)選,所述氮?dú)夤茏运稣羝业囊粋?cè)插入蒸汽室內(nèi)部,所述氮?dú)鈬姽茏韵露洗┤雵娏芊磻?yīng)室內(nèi)。

綜上,本實(shí)用新型的有益效果在于:1、通過在噴淋反應(yīng)室內(nèi)側(cè)底部設(shè)置擾流結(jié)構(gòu),可通過向噴淋反應(yīng)室內(nèi)部送入氮?dú)猓瑴p少反應(yīng)氣體下沉,提高反應(yīng)氣體結(jié)合的效率,減少原材料浪費(fèi);

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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