[實(shí)用新型]一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022847758.2
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN213803977U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張銀冰
• 申請（專利權(quán)）人: 張銀冰
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置，包括蒸汽室和噴淋反應(yīng)室，所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有沉淀板，所述噴淋反應(yīng)室設(shè)置于所述蒸汽室上方，且通過單向透氣結(jié)構(gòu)連通，該單向透氣結(jié)構(gòu)的透氣方向?yàn)樽哉羝蚁驀娏芊磻?yīng)室，所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有噴淋結(jié)構(gòu)，所述蒸汽室一側(cè)設(shè)置有蒸汽管。有益效果在于：通過在噴淋反應(yīng)室內(nèi)側(cè)底部設(shè)置擾流結(jié)構(gòu)，可通過向噴淋反應(yīng)室內(nèi)部送入氮?dú)猓瑴p少反應(yīng)氣體下沉，提高反應(yīng)氣體結(jié)合的效率，減少原材料浪費(fèi)；設(shè)置擾流結(jié)構(gòu)后，在向噴淋反應(yīng)室內(nèi)部送入氮?dú)獾倪^程中，可使蒸汽的分布更加均勻，從而提高噴淋反應(yīng)室內(nèi)部溫度的一致性，進(jìn)而提高沉淀反應(yīng)的均勻性和穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置。

背景技術(shù)

金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀技術(shù)具有可以生長純度很高的材料、生長易于控制、生長超薄外延層、大規(guī)模生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，所以金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相技術(shù)成為制備化合物半導(dǎo)體薄膜的關(guān)鍵技術(shù)，如Zn(C2H5)2，即二乙基鋅氣體和水蒸氣反應(yīng)制備氧化鋅薄膜，被廣泛的運(yùn)用于太陽能電池、傳感器、發(fā)光管等領(lǐng)域。反應(yīng)時，首先在蒸汽室內(nèi)部充氣，而后將蒸汽室內(nèi)的高溫蒸汽均勻送入反應(yīng)室內(nèi)，而后通過噴淋頭向反應(yīng)室內(nèi)部送入二乙基鋅氣體，通過二乙基鋅氣體與蒸汽反應(yīng)，在沉淀板上形成氧化鋅薄膜。此種反應(yīng)在進(jìn)行時，由于二乙基鋅氣體較重，進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)部后下沉，無法與沉淀板接觸，其雖能夠與水蒸氣劇烈反應(yīng)，但是依舊存在一定的浪費(fèi)；由于蒸汽向反應(yīng)室內(nèi)部輸入點(diǎn)位不能做到絕對均勻，導(dǎo)致反應(yīng)室內(nèi)部溫度存在一定的誤差，會在一定程度上影響沉淀反應(yīng)的均勻性。基于此，申請人提出一種可提高沉淀反應(yīng)穩(wěn)定性的噴淋裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置，本實(shí)用新型提供的諸多技術(shù)方案中優(yōu)選的技術(shù)方案具有：可使二乙基鋅氣體與蒸汽的接觸更加均勻，提高反應(yīng)的徹底性，同時能夠提高反應(yīng)室內(nèi)部溫度的均勻性，從而提高沉淀反應(yīng)的穩(wěn)定性等技術(shù)效果，詳見下文闡述。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供的一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器噴淋裝置，包括蒸汽室和噴淋反應(yīng)室，所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有沉淀板，所述噴淋反應(yīng)室設(shè)置于所述蒸汽室上方，且通過單向透氣結(jié)構(gòu)連通，該單向透氣結(jié)構(gòu)的透氣方向?yàn)樽哉羝蚁驀娏芊磻?yīng)室，所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)部設(shè)置有噴淋結(jié)構(gòu)，所述蒸汽室一側(cè)設(shè)置有蒸汽管；

所述噴淋反應(yīng)室內(nèi)側(cè)底部設(shè)置有擾流結(jié)構(gòu)，所述蒸汽室內(nèi)部設(shè)置有向所述擾流結(jié)構(gòu)輸送氮?dú)獾牡獨(dú)夤堋?/p>

作為優(yōu)選，所述單向透氣結(jié)構(gòu)為單向透氣膜，所述單向透氣結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個，且均勻分布在所述蒸汽室與所述噴淋反應(yīng)室之間。

作為優(yōu)選，所述蒸汽管自所述蒸汽室一側(cè)插入其內(nèi)部，且所述蒸汽管插入所述蒸汽室內(nèi)部一端設(shè)置有噴口擋板，所述噴口擋板與所述蒸汽管端部的軸向相互垂直。

作為優(yōu)選，所述擾流結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個，且均勻分布在所述噴淋反應(yīng)室的底部，所述氮?dú)夤苌蠈?yīng)所述擾流結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個氮?dú)鈬姽埽龅獨(dú)鈬姽茇Q直向上設(shè)置于所述擾流結(jié)構(gòu)的正下方。

作為優(yōu)選，所述擾流結(jié)構(gòu)包括擾流帽和支撐架，所述支撐架與所述擾流帽焊接固定，且所述氮?dú)鈬姽茇Q直設(shè)置于所述擾流帽的正下方中間位置。

作為優(yōu)選，所述擾流帽為圓形帽，且中部成型有向上的凸起，所述擾流帽下方對應(yīng)所述凸起成型有帽腔。

作為優(yōu)選，所述氮?dú)夤茏运稣羝业囊粋?cè)插入蒸汽室內(nèi)部，所述氮?dú)鈬姽茏韵露洗┤雵娏芊磻?yīng)室內(nèi)。

綜上，本實(shí)用新型的有益效果在于：1、通過在噴淋反應(yīng)室內(nèi)側(cè)底部設(shè)置擾流結(jié)構(gòu)，可通過向噴淋反應(yīng)室內(nèi)部送入氮?dú)猓瑴p少反應(yīng)氣體下沉，提高反應(yīng)氣體結(jié)合的效率，減少原材料浪費(fèi)；