[實用新型]一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置有效
| 申請號： | 202022847758.2 | 申請日： | 2020-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN213803977U | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 張銀冰 | 申請（專利權）人： | 張銀冰 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/40 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 有機化學 沉積 反應器 噴淋 裝置 | ||
1.一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于，包括蒸汽室(1)和噴淋反應室(7)，所述噴淋反應室(7)內部設置有沉淀板(6)，所述噴淋反應室(7)設置于所述蒸汽室(1)上方，且通過單向透氣結構(8)連通，該單向透氣結構(8)的透氣方向為自蒸汽室(1)向噴淋反應室(7)，所述噴淋反應室(7)內部設置有噴淋結構(5)，所述蒸汽室(1)一側設置有蒸汽管(2)；
所述噴淋反應室(7)內側底部設置有擾流結構(4)，所述蒸汽室(1)內部設置有向所述擾流結構(4)輸送氮氣的氮氣管(3)。
2.根據權利要求1所述一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于：所述單向透氣結構(8)為單向透氣膜，所述單向透氣結構(8)設置有多個，且均勻分布在所述蒸汽室(1)與所述噴淋反應室(7)之間。
3.根據權利要求1所述一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于：所述蒸汽管(2)自所述蒸汽室(1)一側插入其內部，且所述蒸汽管(2)插入所述蒸汽室(1)內部一端設置有噴口擋板，所述噴口擋板與所述蒸汽管(2)端部的軸向相互垂直。
4.根據權利要求1所述一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于：所述擾流結構(4)設置有多個，且均勻分布在所述噴淋反應室(7)的底部，所述氮氣管(3)上對應所述擾流結構(4)設置有多個氮氣噴管，所述氮氣噴管豎直向上設置于所述擾流結構(4)的正下方。
5.根據權利要求4所述一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于：所述擾流結構(4)包括擾流帽(41)和支撐架(42)，所述支撐架(42)與所述擾流帽(41)焊接固定，且所述氮氣噴管豎直設置于所述擾流帽(41)的正下方中間位置。
6.根據權利要求5所述一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于：所述擾流帽(41)為圓形帽，且中部成型有向上的凸起，所述擾流帽(41)下方對應所述凸起成型有帽腔。
7.根據權利要求5所述一種金屬有機化學氣相沉積反應器噴淋裝置，其特征在于：所述氮氣管(3)自所述蒸汽室(1)的一側插入蒸汽室(1)內部，所述氮氣噴管自下而上穿入噴淋反應室(7)內。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
