[實(shí)用新型]大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其輸送管道

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022847606.2
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN214222748U
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 隋英羿
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F16L55/02
• 代理公司: 杭州裕陽聯(lián)合專利代理有限公司 33289
• 代理人: 司曉蕾

本實(shí)用新型公開了一種大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其輸送管道，涉及氣體供應(yīng)技術(shù)領(lǐng)域，包括供應(yīng)管道和緩沖管道，所述供應(yīng)管道一端用于與氣體供應(yīng)設(shè)備連接，供應(yīng)管道的另一端用于連接氣體分配設(shè)備，所述緩沖管道位于供應(yīng)管道的兩端之間，且緩沖管道靠近供應(yīng)管道用于連接氣體分配設(shè)備的一端，所述緩沖管道的直徑大于供應(yīng)管道的直徑。提高供應(yīng)管道的流體補(bǔ)充能力，可在生產(chǎn)設(shè)備大量使用特殊氣體的瞬間，為氣體供應(yīng)設(shè)備到氣體分配設(shè)備之間的供應(yīng)管道的流體補(bǔ)充贏得時(shí)間，保證供應(yīng)管道壓力的穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及大宗特殊氣體供應(yīng)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其輸送管道。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)技術(shù)的不斷更新?lián)Q代，各芯片制造工廠和液晶面板廠的產(chǎn)能也逐漸增大，同時(shí)各工廠對特殊氣體的需求量亦隨之增加。依據(jù)特殊氣體的安全存儲管理規(guī)定，存儲量較大的特殊氣體需在生產(chǎn)廠房之外單獨(dú)建立特殊氣體站，且特殊氣體站與生產(chǎn)廠房及人員密集區(qū)應(yīng)保持一定的安全距離。特殊氣體因其氣體性質(zhì)的特殊，均采用低壓供應(yīng)(供應(yīng)壓力通常為4～5kg/cm2)，由于輸送距離較長，當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備使用特殊氣體時(shí)，流體與輸送管道的摩擦及使用量的變化常常導(dǎo)致供應(yīng)壓力的不穩(wěn)定。

實(shí)用新型內(nèi)容

1、實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題

針對流體與輸送管道的摩擦及使用量的變化常常導(dǎo)致供應(yīng)壓力的不穩(wěn)定技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其輸送管道，它通過緩沖管道提高供應(yīng)管道的流體補(bǔ)充能力，保證供應(yīng)管道壓力的穩(wěn)定。

2、技術(shù)方案

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案為：一種大宗特殊氣體輸送管道，包括供應(yīng)管道和緩沖管道，所述供應(yīng)管道一端用于與氣體供應(yīng)設(shè)備連接，供應(yīng)管道的另一端用于連接氣體分配設(shè)備，所述緩沖管道位于供應(yīng)管道的兩端之間，且緩沖管道靠近供應(yīng)管道用于連接氣體分配設(shè)備的一端，所述緩沖管道的直徑大于供應(yīng)管道的直徑。

可選的，所述供應(yīng)管道與緩沖管道之間的連接方式為焊接。

可選的，所述供應(yīng)管道和緩沖管道的材質(zhì)為不銹鋼。

可選的，所述不銹鋼為316L不銹鋼。

可選的，所述焊接為全自動(dòng)氬弧焊接。

本實(shí)用新型還公開了一種大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括氣體供應(yīng)設(shè)備、氣體分配設(shè)備以及上文所述的大宗特殊氣體輸送管道，所述氣體供應(yīng)設(shè)備與供應(yīng)管道的一端連接，供應(yīng)管道的另一端與氣體分配設(shè)備連接。

可選的，所述氣體供應(yīng)設(shè)備設(shè)有出口閥，所述供應(yīng)管道與出口閥連接。

可選的，所述緩沖管道內(nèi)的壓力為氣體供應(yīng)設(shè)備出口閥處壓力的8～12％。

可選的，所述氣體分配設(shè)備設(shè)有進(jìn)口閥，所述供應(yīng)管道與進(jìn)口閥連接。

可選的，所述供應(yīng)管道與出口閥采用VCR接頭連接，所述供應(yīng)管道與進(jìn)口閥采用VCR接頭連接。

3、有益效果

采用本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下有益效果：

(1)本申請實(shí)施例提出的大宗特殊氣體輸送管道，在供應(yīng)管道中增加一段緩沖管段，且緩沖管道的直徑大于供應(yīng)管道，提高供應(yīng)管道的流體補(bǔ)充能力，可在生產(chǎn)設(shè)備大量使用特殊氣體的瞬間，為氣體供應(yīng)設(shè)備到氣體分配設(shè)備之間的供應(yīng)管道的流體補(bǔ)充贏得時(shí)間，保證供應(yīng)管道壓力的穩(wěn)定。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提出的大宗特殊氣體輸送管道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提出的大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。