[實用新型]大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)及其輸送管道

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022847606.2
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN214222748U
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 隋英羿
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F16L55/02
• 代理公司: 杭州裕陽聯(lián)合專利代理有限公司 33289
• 代理人: 司曉蕾

1.一種大宗特殊氣體輸送管道，其特征在于，包括供應(yīng)管道和緩沖管道，所述供應(yīng)管道一端用于與氣體供應(yīng)設(shè)備連接，供應(yīng)管道的另一端用于連接氣體分配設(shè)備，所述緩沖管道位于供應(yīng)管道的兩端之間，且緩沖管道靠近供應(yīng)管道用于連接氣體分配設(shè)備的一端，所述緩沖管道的直徑大于供應(yīng)管道的直徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大宗特殊氣體輸送管道，其特征在于，所述供應(yīng)管道與緩沖管道之間的連接方式為焊接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大宗特殊氣體輸送管道，其特征在于，所述供應(yīng)管道和緩沖管道的材質(zhì)為不銹鋼。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大宗特殊氣體輸送管道，其特征在于，所述不銹鋼為316L不銹鋼。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大宗特殊氣體輸送管道，其特征在于，所述焊接為全自動氬弧焊接。

6.一種大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包括氣體供應(yīng)設(shè)備、氣體分配設(shè)備以及權(quán)利要求1～5任一項所述的大宗特殊氣體輸送管道，所述氣體供應(yīng)設(shè)備與供應(yīng)管道的一端連接，所述氣體分配設(shè)備與供應(yīng)管道的另一端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體供應(yīng)設(shè)備設(shè)有出口閥，所述供應(yīng)管道與出口閥連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖管道內(nèi)的壓力為氣體供應(yīng)設(shè)備出口閥處壓力的8～12％。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體分配設(shè)備設(shè)有進口閥，所述供應(yīng)管道與進口閥連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的大宗特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述供應(yīng)管道與出口閥采用VCR接頭連接，所述供應(yīng)管道與進口閥采用VCR接頭連接。