[實用新型]一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022845199.1 | 申請日: | 2020-12-01 |
| 公開(公告)號: | CN213519913U | 公開(公告)日: | 2021-06-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張文振;孔德方;王夢尋 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州禾蘇傳感器科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市工*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 雙向 推位鎖卡 芯片 基板托臺 裝置 | ||
本實用新型公開一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,包括自潤滑推移底板、雙向輪齒槽鎖卡裝置、中間調(diào)位托臺組件、螺旋微調(diào)器和上頂托臺組件,自潤滑推移底板裝在篩印設(shè)備上頂面的長條形限位孔內(nèi),雙向輪齒槽鎖卡裝置有外齒槽鎖輪和定位雙向卡輪組件,外齒槽鎖輪裝在自潤滑推移底板的側(cè)面,定位雙向卡輪組件裝在篩印設(shè)備上頂面上,中間調(diào)位托臺組件裝在自潤滑推移底板上,螺旋微調(diào)器裝在中間調(diào)位托臺組件上,上頂托臺組件裝在中間調(diào)位托臺組件上,螺旋微調(diào)器能推動中間調(diào)位托臺組件和上頂托臺組件移動。本實用新型能夠?qū)Y印完成后芯片基板進(jìn)行左右推拉移動,使篩印完成后芯片基板整體鎖卡定位準(zhǔn)確穩(wěn)定,移動調(diào)位精確,移動方便效率高。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及推位鎖卡芯片基板托臺裝置領(lǐng)域,具體屬于一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置。
背景技術(shù)
汽車氧傳感器芯片生產(chǎn)制作過程中,需要在成型后的陶瓷基板上面篩印電極層及其它配套的陶瓷隔離層,然后將篩印完成后的氧傳感器芯片半成品放入在線溫控連續(xù)燒結(jié)爐中進(jìn)行整體燒結(jié)成型。此過程中通常將陶瓷基板整體穩(wěn)定放置在陶瓷托板上面,再將陶瓷托板連同陶瓷基板整體固定放置在篩印設(shè)備的托臺裝置上。
目前普通的氧傳感器芯片篩印設(shè)備的托臺裝置,在實際使用時,存在以下問題:1,托臺裝置安裝在篩印設(shè)備上頂板面的長條形通孔內(nèi),通過托臺裝置在長條形通孔內(nèi)能夠左右移動,進(jìn)而實現(xiàn)對篩印加工完成后陶瓷基板在托臺裝置上面的裝卸,但是,由于普通篩印設(shè)備上頂板面長條形通孔兩端沒有配套的鎖卡定位裝置,在篩印加工時放置有陶瓷基板的托臺裝置,整體不穩(wěn)定,不能被固定在長條形通孔兩端的特定位置,容易在長條形通孔發(fā)生移位,時常發(fā)生篩印位的偏移或錯位,進(jìn)而引起陶瓷基板材料的浪費(沒有篩印電極層的基板面積增大,需要切除。)或部分篩印電極層的報廢(整個完整的電極層有部分沒有篩印到基板上面。);2,有部分篩印設(shè)備通過螺栓將托臺裝置固定在長條形通孔兩端,生產(chǎn)時,通過螺栓的裝卸來實現(xiàn)托臺裝置在長條形通孔兩端的固定或移動,這種整體生產(chǎn)效率低;3,部分篩印設(shè)備配套的托臺裝置,陶瓷基板安裝在托臺裝置上后,實際使用時,如果陶瓷基板在托臺裝置上的位置與篩印板的位置不完全對應(yīng),不能再對托臺裝置進(jìn)行橫向或縱向的微調(diào),無法滿足實際生產(chǎn)需要。為此,本實用新型提供了一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置。
實用新型內(nèi)容
本實用新型提供一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,通過對自潤滑推移底板、雙向輪齒槽鎖卡裝置、中間調(diào)位托臺組件、螺旋微調(diào)器和上頂托臺組件的整體研發(fā)設(shè)計,解決了上述背景技術(shù)中提到的問題。同時,本實用新型能夠?qū)Y印完成后芯片基板進(jìn)行左右推拉移動,使篩印完成后芯片基板在篩印設(shè)備上頂面上整體自動鎖卡定位,定位準(zhǔn)確穩(wěn)定,移動調(diào)位精確,確保芯片基板整體篩印穩(wěn)定,推拉移動方便,生產(chǎn)效率高,適合在氧傳感器芯片生產(chǎn)時,作為穩(wěn)固限定和左右推移方便的篩印芯片基板托臺裝置推廣使用。
為實現(xiàn)上述目的本實用新型采用的技術(shù)方案如下:
一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,包括自潤滑推移底板、雙向輪齒槽鎖卡裝置、中間調(diào)位托臺組件、螺旋微調(diào)器和上頂托臺組件,自潤滑推移底板安裝在篩印設(shè)備上頂面的長條形限位孔內(nèi),所述雙向輪齒槽鎖卡裝置有外齒槽鎖輪和定位雙向卡輪組件,外齒槽鎖輪安裝在自潤滑推移底板的側(cè)面四角處,定位雙向卡輪組件安裝在篩印設(shè)備上頂面長條形限位孔兩端外側(cè)的板面上,中間調(diào)位托臺組件安裝在自潤滑推移底板上面,螺旋微調(diào)器安裝在中間調(diào)位托臺組件上面,上頂托臺組件安裝在中間調(diào)位托臺組件的上面,螺旋微調(diào)器能夠?qū)ι享斖信_組件進(jìn)行前后左右的移動微調(diào)或定位,所述自潤滑推移底板的底面四角處安裝有轉(zhuǎn)軸和光滑轉(zhuǎn)輪,自潤滑推移底板底面上安裝的轉(zhuǎn)軸穿裝在篩印設(shè)備上頂面的長條形限位孔內(nèi),光滑轉(zhuǎn)輪螺接安裝在轉(zhuǎn)軸的下端底部,當(dāng)自潤滑推移底板在篩印設(shè)備上頂面的長條形限位孔內(nèi)進(jìn)行左右移動時,自潤滑推移底板底面的轉(zhuǎn)軸不動,光滑轉(zhuǎn)輪能夠在轉(zhuǎn)軸上進(jìn)行縱向固定的水平轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)軸和光滑轉(zhuǎn)輪隨自潤滑推移底板一起在篩印設(shè)備上頂面的長條形限位孔內(nèi)左右移動,所述自潤滑推移底板的上面有L形縱立板。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





