[實用新型]一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置有效
| 申請號: | 202022845199.1 | 申請日: | 2020-12-01 |
| 公開(公告)號: | CN213519913U | 公開(公告)日: | 2021-06-22 |
| 發明(設計)人: | 張文振;孔德方;王夢尋 | 申請(專利權)人: | 蘇州禾蘇傳感器科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市工*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙向 推位鎖卡 芯片 基板托臺 裝置 | ||
1.一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于包括自潤滑推移底板、雙向輪齒槽鎖卡裝置、中間調位托臺組件、螺旋微調器和上頂托臺組件,自潤滑推移底板安裝在篩印設備上頂面的長條形限位孔內,所述雙向輪齒槽鎖卡裝置有外齒槽鎖輪和定位雙向卡輪組件,外齒槽鎖輪安裝在自潤滑推移底板的側面四角處,定位雙向卡輪組件安裝在篩印設備上頂面長條形限位孔兩端外側的板面上,中間調位托臺組件安裝在自潤滑推移底板上面,螺旋微調器安裝在中間調位托臺組件上面,上頂托臺組件安裝在中間調位托臺組件的上面,螺旋微調器能夠對上頂托臺組件進行前后左右的移動微調或定位,所述自潤滑推移底板的底面四角處安裝有轉軸和光滑轉輪,自潤滑推移底板底面上安裝的轉軸穿裝在篩印設備上頂面的長條形限位孔內,光滑轉輪螺接安裝在轉軸的下端底部,當自潤滑推移底板在篩印設備上頂面的長條形限位孔內進行左右移動時,自潤滑推移底板底面的轉軸不動,光滑轉輪能夠在轉軸上進行縱向固定的水平轉動,轉軸和光滑轉輪隨自潤滑推移底板一起在篩印設備上頂面的長條形限位孔內左右移動,所述自潤滑推移底板的上面有L形縱立板。
2.根據權利要求1所述一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于所述雙向輪齒槽鎖卡裝置中的定位雙向卡輪組件有U形座、彈子盤、限定轉軸、L形限位翹板、外溝槽卡固定位輪、小轉軸和翹掛彈簧,U形座螺接固定安裝在篩印設備上頂面長條形限位孔兩端外側的板面上,限定轉軸的中間固定穿裝在L形限位翹板的一端,L形限位翹板不能沿限定轉軸發生相對轉動,L形限位翹板和限定轉軸一起能在彈子盤內轉動,彈子盤固定安裝在U形座的U形缺口前后兩內側面上,限定轉軸的兩端安裝在彈子盤內側,所述L形限位翹板的另一端上面有缺口,小轉軸嵌裝固定在L形限位翹板另一端的缺口內,小轉軸穿裝在外溝槽卡固定位輪的中間,外溝槽卡固定位輪能夠在小轉軸上面轉動,所述翹掛彈簧的上端固定在L形限位翹板底部,翹掛彈簧的下端固定在靠近U形座內側的篩印設備上頂面的板面上。
3.根據權利要求1所述一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于所述中間調位托臺組件有側卡槽直線滑軌、松緊螺栓和中間調位臺托,側卡槽直線滑軌有兩組,兩組側卡槽直線滑軌都螺接固定在自潤滑推移底板的上面,中間調位臺托的底面下方有縱截面呈梯形溝槽,中間調位臺托底面下方的梯形溝槽與側卡槽直線滑軌相互匹配,中間調位臺托底面下方通過梯形溝槽卡裝在側卡槽直線滑軌上面,松緊螺栓安裝在中間調位臺托與側卡槽直線滑軌連接部位的外側,松緊螺栓旋緊時,中間調位臺托固定在側卡槽直線滑軌上面不動,松緊螺栓松開時,中間調位臺托能夠在側卡槽直線滑軌上左右移動。
4.根據權利要求3所述一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于所述中間調位臺托上面有兩個對稱立臺部,立臺部的外側有梯面條形槽,立臺部的正面螺接有L形小臺板,L形小臺板突出部位的中心線與立臺部外側梯面條形槽的中心線為同一條水平縱向直線。
5.根據權利要求1所述一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于所述上頂托臺組件有上頂托臺板、側向凸塊和松緊螺頭件,上頂托臺板的上面有芯片基板裝卸區,側向凸塊螺接固定在上頂托臺板的底面左右兩側,所述側向凸塊連同上頂托臺板一起整體蓋裝在中間調位臺托的兩個對稱立臺部上面,側向凸塊卡裝在立臺部外側的梯面條形槽內,松緊螺頭件安裝側向凸塊與立臺部外側梯面條形槽的卡接處,松緊螺頭件旋緊時,側向凸塊連同上頂托臺板一起固定在中間調位臺托中立臺部外側的梯面條形槽內不動,松緊螺頭件松開時,側向凸塊連同上頂托臺板一起能夠在中間調位臺托中立臺部外側的梯面條形槽內前后移動。
6.根據權利要求1所述一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于所述自潤滑推移底板上的L形縱立板通過螺栓固定,L形縱立板的安裝位置位于中間調位托臺組件中側卡槽直線滑軌的前端,L形縱立板的水平中心線與側卡槽直線滑軌的水平中心線重合。
7.根據權利要求1~6任一所述一種雙向推位鎖卡芯片基板托臺裝置,其特征在于所述螺旋微調器有四組,兩組螺旋微調器分別安裝在中間調位托臺組件中側卡槽直線滑軌前端的L形縱立板上,兩組螺旋微調器的末端推桿與中間調位托臺組件中中間調位臺托側面接觸,當中間調位托臺組件中的松緊螺栓松開時,兩組安裝在L形縱立板上的螺旋微調器能夠調動中間調位托臺在側卡槽直線滑軌上左右移動的距離,另兩組螺旋微調器分別安裝中間調位臺托中兩個對稱立臺部正面的L形小臺板上,另兩組螺旋微調器的末端推桿與上頂托臺組件中側向凸塊的側面接觸,當上頂托臺組件中的松緊螺頭件松開時,另兩組安裝在L形小臺板上的螺旋微調器能夠調動側向凸塊連同上頂托臺板一起在中間調位臺托中立臺部外側梯面條形槽內前后移動的距離。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





